Выдержка из книги
Палатник Л.С.
Материаловедение в микроэлектронике
Подобное явление возникает по двум причинам. С одной стороны, процессы отдыха и рекристаллизации в пленках пермаллоя развиваются настолько слабо, что даже длительная выдержка при температуре осаждения ( осаждение длится примерно 2 ч) не приводит к укрупнению блоков-кристаллитов.
