Вторым важным материалом, широко используемым при изготовлении биполярных ИМС, является диоксид кремния. Слои этого материала ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Ефимов И.Е. Микроэлектроника


Вторым важным материалом, широко используемым при изготовлении биполярных ИМС, является диоксид кремния. Слои этого материала выполняют важнейшие функции: защищают поверхность готовой ИМС от внешних воздействий и обеспечивают возможность локального формирования элементов.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Вторым важным материалом,  широко используемым при изготовлении биполярных ИМС,  является диоксид кремния.  Слои этого материала выполняют важнейшие функции:  защищают поверхность готовой ИМС от внешних воздействий и обеспечивают возможность локального формирования элементов.