Шероховатость поверхности тонких диэлектрических пленок оказывает существенное влияние на их физические свойства, ограничивая эксплуатационные характеристики, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Оксогоев А.А.
Прикладная синергетика фракталы и компьютерное моделирование структур
Шероховатость поверхности тонких диэлектрических пленок оказывает существенное влияние на их физические свойства, ограничивая эксплуатационные характеристики, срок службы и надежность многослойных структур, используемых в электронной технике. Для получения высококачественных тонкопленочных материалов очень важен контроль над состоянием поверхностей наносимых слоев.
