Алмазоподобные пленки наносятся, как правило, на кремниевую подложку методом газофазного осаждения ( см. гл. Ток ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Шешин Е.П. Структура поверхности и автоэмиссионные свойства углеродных материалов


Алмазоподобные пленки наносятся, как правило, на кремниевую подложку методом газофазного осаждения ( см. гл. Ток дуги, поддерживаемый на уровне 60 А, позволяет получать скорость осаждения ал-мазоподобной пленки до 1 2 мкм / час. Осаждение производится на подложку n - типа монокристаллического Si ( 111) ( p 0 01 ом / см) при напряжении смещения - 200 В.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Алмазоподобные пленки наносятся, как правило, на кремниевую подложку методом газофазного осаждения ( см. гл. Ток дуги, поддерживаемый на уровне 60 А, позволяет получать скорость осаждения ал-мазоподобной пленки до 1 2 мкм / час. Осаждение производится на подложку n - типа монокристаллического Si ( 111) ( p 0 01 ом / см) при напряжении смещения - 200 В.