В статье А.В. Панина и А.Р. Шугурова Фрактальный анализ поверхностей тонких пленою) показана эффективность использования ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Оксогоев А.А.
Прикладная синергетика фракталы и компьютерное моделирование структур
В статье А.В. Панина и А.Р. Шугурова Фрактальный анализ поверхностей тонких пленою) показана эффективность использования сканирующей атомно-силовой микроскопии для фрактального анализа рельефа поверхности тонких диэлектрических пленок. При напылении слоев SiO2 на полупроводниковую подложку ( GaAs) образуются квазипериодические дефектные мезоструктуры, проявляющиеся в форме гофра.
