В статье А.В. Панина и А.Р. Шугурова Фрактальный анализ поверхностей тонких пленою) показана эффективность использования ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Оксогоев А.А. Прикладная синергетика фракталы и компьютерное моделирование структур


В статье А.В. Панина и А.Р. Шугурова Фрактальный анализ поверхностей тонких пленою) показана эффективность использования сканирующей атомно-силовой микроскопии для фрактального анализа рельефа поверхности тонких диэлектрических пленок. При напылении слоев SiO2 на полупроводниковую подложку ( GaAs) образуются квазипериодические дефектные мезоструктуры, проявляющиеся в форме гофра.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

В статье А.В. Панина и А.Р. Шугурова Фрактальный анализ поверхностей тонких пленою) показана эффективность использования сканирующей атомно-силовой микроскопии для фрактального анализа рельефа поверхности тонких диэлектрических пленок.  При напылении слоев SiO2 на полупроводниковую подложку ( GaAs) образуются квазипериодические дефектные мезоструктуры,  проявляющиеся в форме гофра.