Другими словами, вакансии и дислоцированные атомы являются термодинамически равновесными типами дефектов и поэтому добиться их ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Филькевич Э.С.
Технология полупроводникового кремния
Другими словами, вакансии и дислоцированные атомы являются термодинамически равновесными типами дефектов и поэтому добиться их получения в количестве меньшем, чем определяется температурой, принципиально невозможно.