Гидрогенизированный аморфный кремний
Cтраница 1
Гидрогенизированный аморфный кремний осаждают, распыляя кремниевую мишень в водородсодержащей атмосфере. Для получения собственно a - Si: Н используют мишень из не1 легированного кремния, а при нанесении пленок a - Si: Н п - или р-типов проводимости источником вещества служит кремний, легированный фосфором или бором. [1]
 |
Зависимости коэффициентов оптического поглощения пленок аморфного кремния, содержащего и не содержащего водород, от энергии фотонов излучения. [2] |
Присутствующий в гидрогенизированном аморфном кремнии водород оказывает влияние не только на электрические, но и на оптические свойства материала. Одной из основных оптических характеристик кремния является коэффициент оптического поглощения и его зависимости от энергии фотонов ( или длины волны) излучения. [3]
 |
Индуктивная ( а и емкостная ( б схемы нанесения пленок аморфного кремния a - Si. Н разложением силана в тлеющем разряде. [4] |
В настоящее время пленки гидрогенизированного аморфного кремния в основном получают разложением сила на в плазме тлеющего разряда. Подложки, на которые необходимо нанести пленки гидрогенизированного аморфного кремния, размещают в рабочей камере и пропускают через нее со скоростью от 0 1 до 30 см3 / мин смесь газообразного силана с водородом, возбуждая и поддерживая с помощью электромагнитного поля тлеющий газовый разряд. Разложение молекул силана на атомы водорода и кремния, осаждаемые на подложки, происходит в плазме тлеющего разряда. В зависимости от способа возбуждения тлеющего разряда различают несколько типов установок нанесения пленок аморфного кремния. [5]
Распространенным методом получения пленок гидрогенизированного аморфного кремния является высокочастотное ионно-плаз-менное распыление кремния в атмосфере аргонно-водородной плазмы, которое также широко используется в производстве полупроводниковых приборов и микросхем для нанесения пленок других материалов. [6]
 |
Зависимости фотопроводимости пленок гидрогенизированного аморфного кремния и интенсивности солнечного излучения от энергии фотонов и длины волны излучения. [7] |
Фотоэлектрические преобразователи на основе гидрогенизированного аморфного кремния в настоящее время широко используются в качестве источников энергии для калькуляторов, часов, портативных радио - и телевизионных приемников, магнитофонов. Выпуск таких ФЭП в мире составляет миллионы штук в месяц. [8]
 |
Зависимость удельной электропроводности гндрогеннзнрованного аморфного кремния при комнатной температуре от состава газовой смеси. [9] |
Существуют также другие методы получения гидрогенизированного аморфного кремния ( аморфизации кристаллического кремния, постгидрогенизации аморфного кремния, первоначально не содержащего водорода), которые не нашли широкого применения. [10]
 |
Зависимость удельной электропроводности гндрогеннзнрованного аморфного кремния при комнатной температуре от состава газовой смеси. [11] |
Как уже указывалось, особенностью гидрогенизированного аморфного кремния является возможность эффективного управления его электрическими свойствами легированием донорнои или акцепторной примесью. [12]
Какие применяют методы нанесения пленок гидрогенизированного аморфного кремния и как легируют эти пленки. [13]
После того как была продемонстрирована возможность применения гидрогенизированного аморфного кремния в фотоэлектрических преобразователях энергии, этот материал привлек внимание исследователей всего мира, о чем свидетельствует резко возросшее количество научных публикаций [6-35], обзоров [36-39] и конференций [40] по данному вопросу. Это вызвано следующими причинами. Общая стоимость применяемого материала оказывается крайне низкой, так как элементы с приемлемыми характеристиками могут быть изготовлены на основе очень тонких пленок кремния ( толщиной - 1 мкм), осаждение которых осуществляется непосредственно из материала исходного сырья ( силана) без промежуточных процессов его превращения в слиточный или порошкообразный кремний Поскольку кремний широко распространен в природе, его получение в необходимом количестве не вызывает затруднений. [14]
В рабочей камере установки расположены электроды для создания и поддержания плазмы тлеющего разряда, держатели мишени распыляемого материала и подложек. Для получения гидрогенизированного аморфного кремния устанавливают на держатель мишень из кристаллического кремния, откачивают рабочую камеру, а затем заполняют ее смесью аргона и водорода до давления 1 3 - 0 1 Па. При подаче напряжения на электроды между ними возникает тлеющий разряд, газ ионизируется и его ионы под действием электрического поля бомбардируют мишень. [15]
Страницы: 1 2