Бестигельная зонная плавка
Cтраница 1
 |
Схема бестигельной зонной плавки с коническим индуктором, поддерживающим расплав в зоне.| Зонная плавка с электронно-лучевым обогревом. [1] |
Бестигельная зонная плавка находит широкое применение при очистке меди, никеля, ванадия, титана. Ее используют для очистки тугоплавких металлов в вакууме при электронно-лучевом обогреве. [2]
 |
Распределение примеси по длине кристалла после одного прохода расплавленной зоны. [3] |
Методом бестигельной зонной плавки, например, выращивают самые совершенные монокристаллы кремния. [4]
 |
Схема аппаратуры для разложения тетраиодида. [5] |
Для бестигельной зонной плавки с помощью электронного луча образец в виде вертикально поставленного стержня соединяют с положительным полюсом высоковольтного источника напряжений и окружают кольцевым катодом, который может перемещаться вдоль образца вверх. Эмиттируемые электроны фокусируются на небольшую зону образца, которая плавится и поддерживается поверхностным натяжением. В этом случае образец вместе с устройством для электронной бомбардировки помещают внутрь плавильной камеры, соединенной с вакуумной системой. [6]
Для бестигельной зонной плавки с помощью электронного излучения образец в виде вертикально поставленного стержня соединяют с положительным полюсом высоковольтного источника напряжений и окружают кольцевым катодом, который может перемещаться вдоль образца вверх. Эмиттируемые электроны фокусируются на небольшую зону образца, которая плавится и поддерживается поверхностным натяжением. В этом случае образец вместе с устройством для электронной бомбардировки помещают внутрь плавильной камеры, соединенной с вакуумной системой. [7]
Методом бестигельной зонной плавки выращивают монокристаллы сложного состава Nd0 8Pr0 2FeO3 [1], не обнаруживающие-двупреломления. [8]
При бестигельной зонной плавке затравка подводится снизу, а конец исходного кремниевого стержня плавится. Расплав удерживается силами поверхностного натяжения. После введения затравки в расплав и начала роста затравка опускается с растущим кристаллом вниз, в том же направлении движется исходный стержень. В этом случае также применяется взаимное осевое вращение затравки и плавящегося стержня. [9]
 |
Осевой градиент температуры Д Т и мини - У01й К / мин. [10] |
При бестигельной зонной плавке применяют следующие методы легирования: через подложку; твердой лигатурой; газового легирования при выращивании в вакууме и в газовой среде; нейтронно-трансмута-ционного легирования. [11]
При бестигельной зонной плавке металлов удержанию зоны способствует также электромагнитная поддержка, которая, к со-ж. [12]
Установка для бестигельной зонной плавки с радиационным нагревом ( рис. 40) включает излучатель, систему зеркал, камеру отжига и кристаллизационную камеру с кварцевой трубчатой оболочкой. При выращивании монокристаллов ортоферритов и немагнитных гранатов рекомендуется следующий режим: скорость роста 10 мм / ч, частота вращения затравки 20 - 50 об / мин, частота вращения ( в противоположную сторону) поликристаллической заготовки 10 - 20 об / мин. [13]
В процессе бестигельной зонной плавки легирующая примесь из прутка-подложки переходит в зону расплава и распределяется по всему объему монокристалла. [14]
Страницы: 1 2 3 4 5