Cтраница 1
Субхлорид кремния образуется при 1000 - 1200 С, с понижением температуры равновесие реакции сдвигается влево. При температуре около 1000 С субхлорид кремния является сильным восстановителем и способен восстанавливать РеС13 до металлического железа. Соотношение РеС13 и РеС12 в продуктах хлорирования изменяется также за счет термического разложения хлорного железа. [1]
Субхлорид кремния ( SiCl) - желтого цвета, аморфный, пластичный. Он нерастворим в обычных органических растворителях. При температуре 98 в кислороде воспламеняется, водой разлагается с выделением водорода. [2]
Был получен субхлорид кремния [ В 54 ], состав которого примерно соответствует формуле SiClo5-26. [3]
Таким образом, образовавшиеся субхлориды кремния вступают во взаимодействие с молибденом, например, по реакциям ( 59) и ( 60), которые имеют тенденцию затухать с повышением температуры ( см. гл. По-видимому, этой тенденцией реакций ( 59) и ( 60) можно объяснить уменьшение привеса с повышением температуры молибденовых образцов не только при прямоточном силицировании в тлеющем разряде ( кривые / - 3 на рис. 79), но и в случае силицирования циркуляционным методом в безводородной среде, когда на первой стадии процесса образуются субхлориды по реакциям ( 53) и ( 54) [ см. гл. [4]
Для того чтобы определить, какой из трех указанных субхлоридов кремния играет ведущую роль в реальных процессах силицирования, был выполнен расчет равновесного состава газовой смеси хлоридов кремния в зависимости от температуры изотермической выдержки. [5]
В опытах 1, 2 концентрации SiHCl2 и SiHCl3 сравнимы с концентрациями субхлоридов кремния. [6]
Зависимость выхода SiCl4 от температуры хлорирования.| Хлорирование различных кремнийсодержащих материалов. [7] |
Увеличение количества металлического железа при температуре выше 1000 С может быть объяснено в первую очередь сильным восстановительным действием субхлорида кремния ( SiQ2), образующегося только при 1000 - 1200 С. [8]
Указанный в табл. 32 сравнительно большой расход кремния в безводородном варианте силицирования, видимо, можно объяснить тем, что часть субхлоридов кремния диспропорционирует с выделением кремния в менее нагретых участках установки. В водородном варианте отмечается меньший расход кремния в связи с тем, что образующиеся хлорсиланы препятствуют указанному выделению кремния. [9]
В отличие от нагрева электросопротивлением, когда источником нагрева ( повышения энергетического уровня) среды является проволочный образец, в тлеющем разряде в результате ионизации значительно повышается энергия газовой смеси и создаются более благоприятные условия для протекания реакций ( 56) и ( 57) образования субхлоридов кремния ( см. гл. В условиях тлеющего разряда образование силанов маловероятно, так как при высокой температуре ( что соответствует высокому энергетическому уровню), даже в равновесной газовой среде, относительное количество силанов невелико. [10]
Субхлорид кремния образуется при 1000 - 1200 С, с понижением температуры равновесие реакции сдвигается влево. При температуре около 1000 С субхлорид кремния является сильным восстановителем и способен восстанавливать РеС13 до металлического железа. Соотношение РеС13 и РеС12 в продуктах хлорирования изменяется также за счет термического разложения хлорного железа. [11]
Зависимость тол - g w щины покрытия от времени силицирования молибдена & - / У7. YA 1. [12] |
Термодинамический анализ показал, что силицирование может происходить в результате образования субхлоридов кремния SiCl2 и SiCl3 с последующим диспропорционированием их на поверхности нагретого молибдена. [13]
Изменение энтальпии образования SiHCl3 в пределах погрешности ее определения несущественно влияет на равновесный состав. Поэтому величины в скобках ( табл. 5) характеризуют нижнюю границу концентраций субхлоридов кремния. [14]
Одним из существенных результатов настоящего анализа равновесий в системе Si - С1 является заключение о присутствии SiCU в паре. В литературе общепринята модель равновесия 2, согласно которой в паре отсутствует также Si Cl. Поэтому для подтверждения модели 7 особое значение приобретают спектроскопические исследования равновесий с участием субхлоридов кремния. [15]