Cтраница 1
Прогрев рабочего колпака азотита и верхней части корпуса диффузионного насоса осуществляется при помощи обычных съемных печей сопротивления. [1]
Такое устройство получило название азотит. [2]
Схема вакуумной системы установки Огра II. [3] |
Основная камера Огры II имеет вкладыш - азотит в форме двухсекционного цилиндра, залитого жидким азотом; диаметр вкладыша 66 см. В промежуточном объеме давление 10 - 6 тор. [4]
Схема вакуумной системы установки Огра I. [5] |
После открытия низкотемпературной сорбции были разработаны для Огры азотиты - медные цилиндры, на которые напыляется титан. Азотиты охлаждаются жидким азотом. [6]
Сверхвысоковакуумная установка для напыления тонких пленок с использованием комбинированной откачки. [7] |
На входе паромасляного насоса в уширенной части системы располагаются водяная ловушка и азотит со скоростью откачки 2000 л / сек. [8]
После открытия низкотемпературной сорбции были разработаны для Огры азотиты - медные цилиндры, на которые напыляется титан. Азотиты охлаждаются жидким азотом. [9]
На рис. 88 показана вакуумная схема Огры I. Азотиты обеспечивают быстроту откачки несколько миллионов литров в секунду по газам Н2, N2, CO; неконденсируемые газы откачиваются ртутными агрегатами с быстротой около 1000 л / сек. [10]
Предельный вакуум, создаваемый с помощью геттерно-ионных насосов, может быть значительно улучшен, если проводить напыление титана на поверхность, имеющую температуру жидкого азота. Такого рода насосы, называемые азотитами, обладают удельной сорбцией, примерно в 5 раз выше, чем сорбция титаном, нанесенным на поверхность, находящуюся при комнатной температуре. Откачка азотитами по сравнению с сорбцией титаном на тепловой поверхности не приводит к выделению в объем посторонних газов, например метана. Предельный вакуум, получаемый с помощью азотитов, достигает 2 - 10 - 10 мм рт. ст. Параметром, ограничивающим применение насоса в области высоких давлений, является количество молекул титана, испаряемого в единицу времени. [11]
Откачной агрегат внутренней камеры накопителя содержит испаритель титана в форме полого цилиндра, нагреваемого изнутри током мощностью 500 вт. Агрегат имеет, охлаждаемые жидким азотом поверхности - азотиты, быстрота откачки достигает ( 2 - 4) 103 л / сек. [12]
Предельный вакуум, создаваемый с помощью геттерно-ионных насосов, может быть значительно улучшен, если проводить напыление титана на поверхность, имеющую температуру жидкого азота. Такого рода насосы, называемые азотитами, обладают удельной сорбцией, примерно в 5 раз выше, чем сорбция титаном, нанесенным на поверхность, находящуюся при комнатной температуре. Откачка азотитами по сравнению с сорбцией титаном на тепловой поверхности не приводит к выделению в объем посторонних газов, например метана. Предельный вакуум, получаемый с помощью азотитов, достигает 2 - 10 - 10 мм рт. ст. Параметром, ограничивающим применение насоса в области высоких давлений, является количество молекул титана, испаряемого в единицу времени. [13]
Промышленность требует чистейшие инертные газы. Технические ( неочищенные) газы очищают пропусканием их при высокой температуре над металлическим литием или кальцием. Пылевидный металлический титан ( азотит) забирает последние следы азота. [14]
Предельный вакуум, создаваемый с помощью геттерно-ионных насосов, может быть значительно улучшен, если проводить напыление титана на поверхность, имеющую температуру жидкого азота. Такого рода насосы, называемые азотитами, обладают удельной сорбцией, примерно в 5 раз выше, чем сорбция титаном, нанесенным на поверхность, находящуюся при комнатной температуре. Откачка азотитами по сравнению с сорбцией титаном на тепловой поверхности не приводит к выделению в объем посторонних газов, например метана. Предельный вакуум, получаемый с помощью азотитов, достигает 2 - 10 - 10 мм рт. ст. Параметром, ограничивающим применение насоса в области высоких давлений, является количество молекул титана, испаряемого в единицу времени. [15]