Нитевидный кристалл - кремний
Cтраница 1
Нитевидные кристаллы кремния огранены плоскостями 112, и трудно объяснить различно по величине граней анизотропией коэффициентов распределения. [1]
Нитевидные кристаллы кремния Снято в растровом ал. [2]
 |
Температурная зависимость фона внутреннего трения нитевидного кристалла кремния, легированного бором. [3] |
Легирование нитевидных кристаллов кремния медью до концентрации 3 5 - 1018 см - 3и выше приводит к возрастанию фона с повышением температуры при исследовании внутреннего трения в температурном диапазоне до 600 С. Фон возрастает с увеличением концентрации меди. [4]
 |
Торец нитевидного кристалла кремния послоугранления. Кристалл легирован бором ( Х1075 ( а, золотом и бором ( хЮ75 ( б. [5] |
Исследование торцов нитевидных кристаллов кремния, легированных одновременно Аи п В, после травления наглядно показывает последовательность встраивания примесей Аи и В в процессе роста: вначале происходит рост кристаллов с участием примеси Аи, а затем, когда концентрация золота в системе уменьшается, - застройка кристалла с участием бора, о чем свидетельствует появление грани ( 110), которое наиболее правдоподобно можно объяснить с точки зрения анизотропии коэффициента сегрегации примесей, допустив, что для плоскости ( 110) при легировании В и Sb коэффициент распределения несколько выше, чем для других плоскостей, а следовательно, примесь, адсорбируясь на поверхности, снижает поверхностную энергию этой грани. [6]
При выращивании нитевидных кристаллов кремния, легированных Ait до концентрации 3 - Ю15 см - 3на гранях ( 112), плотность ступеней увеличивается с увеличением концентрации легирующей примеси. Следует отметить, что одновременно растет и высота ступеней ( см. рис. 1, б), причем высота ступеней возрастает с увеличением диаметра нитевидных кристаллов и достигает значений 0 7 мкм на нитевидных кристаллах диаметром 40 мкм. [7]
 |
Зависимость скорости травления от радиуса нитевидного кристалла кремшш, легированного Аи и В. [8] |
Изменение огранки нитевидных кристаллов кремния, выращенных в направлении [111], заключается в том, что наряду с гранями кристалла 112 появляются грани ( 110), и кристалл из шестигранной формы переходит в двенадцатигранную. [9]
На основании исследования морфологии нитевидных кристаллов кремния, выращенных из газовой фазы, сделан вывод о слоисто-спиральном механизме роста кристаллов. Установлено влияние примесей на огранку и габитус нитевидных кристаллов кремния. [10]
Исследования показали, что появление граней 110 у нитевидных кристаллов кремния обусловлено увеличением степени легирования нитевидных кристаллов бором и сурьмой. [11]
Кривая ползучести монокристалла германия, а также деформация нитевидных кристаллов кремния показывают наличие инкубационного периода, называемого Ван Бюреном - начальным или периодом задержки. [12]
Медь является не единственной примесью, изменяющей огранку нитевидных кристаллов кремния. При легировании нитевидных кристаллов В и Sb повышение концентрации В и Sb приводит к росту кристаллов в форме двенадцатигранников. [13]
Рассмотрим еще один интересный процесс, связанный с выращиванием тонких нитевидных кристаллов кремния, которые часто называют усами. Для этого применяют систему роста в газовой среде через каплю расплава. [14]
Для подтверждения этого памп били проведены исследования скоростей травления граней нитевидных кристаллов кремния. [15]
Страницы: 1 2