Cтраница 4
Важнейшим достоинством сухого травления является его анизотропия: травление идет преимущественно в вертикальном направлении в котором движутся частицы. Размер вытравленной области весьма точно соответствует размеру отверстия в маске. Процесс позволяет получать отверстия в слое SiO2 меньших размеров, чем при жидкостном травлении. Количественно анизотропия оценивается отношением скоростей травления в вертикальном и горизонтальном направлениях. [46]
Химический состав и механические свойства сталей. [47] |
Важнейшим достоинством бесшовных труб является постоянство их механических свойств по всей окружности поперечного сечения. [48]
Важнейшим достоинством трехфазной системы для современной промышленности является возможность создания и широкого использования в практике очень простых и надежных электродвигателей, принцип действия которых основан на использовании трехфазного тока. [49]
Важнейшим достоинством цифровых приборов является наличие у них кодового выхода, что дает возможность регистрировать результаты измерения с помощью цифропечатающих устройств и использовать эти результаты для ввода в цифровые вычислительные машины для последующей обработки. [50]
Важнейшими достоинствами системы управления с кулачковыми механизмами являются: чрезвычайная простота привода, так как для осуществления большого числа однокоординатных циклов можно использовать один кулачковый вал с постоянным направлением вращения, на котором размещаются все необходимые кулачки; простота и надежность системы управления; сравнительно высокая точность перемещений. [51]