Масс-спектр - вторичный ион
Cтраница 1
Масс-спектры вторичных ионов, полученные от массивных монокристаллов и эпитаксиальных пленок GaAs как по составу ионов, так и по относительным интенсивностям массовых линии масс-спектра оказались, в пределах ошибок измерения, одинаковыми в различных условиях опытов, что позволило, с одной стороны, сделать вывод о незначительном вкладе в интенсивность вторичных ионов различного структурного совершенства образцов кристаллов и пленок, а с другой - считать полученные данные справедливыми для массивных монокристаллических образцов и монокристаллических пленок. [1]
На рис. 7.6 приведен типичный масс-спектр вторичных ионов, эмиттирующих из льда. [2]
В настоящее время с помощью масс-спектров вторичных ионов, полученных при бомбардировке ускоренными атомами, исследовано большое число полярных, труднолетучих и термически лабильных соединений различных типов: биоорганических, металлоорганических и других. [3]
ИОННЫЙ МИКРОАНАЛИЗ, метод локального анализа, основанный на регистрации масс-спектров вторичных ионов с микроучастков пов-сти твердых тел. Исследуемый образец в вакууме бомбардируют сфокусированным пучком первичных ионов ( Аг, О, О, С8; диаметр пучка 1 - 100 мкм, энергия 10 - 15 - 10 - 16 Дж, штотн. [4]
Настоящая работа была начата с целью изучения возможности применения метода ВИИЭ к исследованию эпитаксиалышх слоев соединений AIJIBV и масс-спектра вторичных ионов, выбиваемых с поверхности арсенида галлия при различных температурах. Данные такого рода являются необходимой основой для проведения дальнейших, планируемых нами работ по изучению процессов зарождения эпитаксиальных слоев методом ВИИЭ. [5]
Для нейтрализации положительного заряда мишени использовались электроны, создаваемые установленным вблизи мишени катодом; энергия электронов не должна превышать 10 эВ во избежание ионизации остаточных газов и наложения их масс -, спектра на масс-спектр вторичных ионов. Кроме того, электроны, попадая на поверхность мишени, будут заряжать ее, и изменение потенциала будет тем больше, чем выше энергия электронов. [6]
Для изучения поверхностей полупроводников типа А111 В предложен метод вторичной ионно-ионной эмиссии. Масс-спектр вторичных ионов арсенида галлия содержит две группы частиц: выбиваемых из адсорбированного слоя и выбиваемых из решетки. Обсуждается природа происхождения этих частиц. [7]
Анализ термически нестабильных, труднолетучих соединений с использованием традиционных методов ионизации ( электронный удар, химическая ионизация, ионизация в сильном электрическом поле) неизбежно связан с возможностью разложения образца в процессе его введения в ионный источник. Ограничения этого приема очевидны; поиски иных способов ионизации привели к созданию методов, основанных на эмиссии ионов из вещества в конденсированном состоянии. Масс-спектры вторичных ионов, получаемые под действием ионных, электронных и атомных пучков, а также лазерного излучения содержат интенсивные пики молекулярных и осколочных ионов. Их совокупность позволяет определять молекулярную массу и структуру исследуемого образца. [8]
До настоящего времени процессы зарождения и роста эпитаксиаль-ных слоев, их легирования исследовались в основном на макроуровне методами, не позволяющими изучать начальную стадию указанных процессов. Этот метод в применении к полупроводниковым соединениям еще не использовался систематически. Известны только единичные работы [8, 9], в которых приводятся предварительные сведения о масс-спектре вторичных ионов, выбитых ионами аргона с поверхности арсенида галлия при комнатной температуре. [9]
Однако в случае эмиссии ионов появляется и новая аналитическая возможность - анализ вторичных ионов по массам. Этот метод и называют МСВИ. Масс-спектр вторичных ионов характеризует химический состав поверхностного слоя. Большое число вторичных ионов значительно усложняет спектр, однако делает его и более информативным. [11]
 |
Метода, основанные на воином облучении.| ИСВИ-опектр поверхности оеребра.| Профиль распределения по глубине. [12] |
Однако в случае эмиссии ионов появляется и новая аналитическая возможность - масс-анализ вторичных ионов. Этот метод и называют МСВИ. Масс-спектр вторичных ионов характеризует химический состав поверхностного слоя. Большое число вторичных ионов значительно усложняет спектр, однако делает его и более информативным. [13]
Из табл. 7.3 можно видеть, что каждый полимер имеет свой характерный масс-спектр. Даже масс-спектры полиэтилена и полипропилена, которые имеют одинаковый элементный состав, заметно различаются. Полимеры, отличающиеся своим элементным составом или функциональными группами, как правило, имеют более существенные различия в спектрах. Интересно отметить, что в масс-спектре поликарбоната, в молекуле которого кислород непосредственно не связан с алкильными группами, ионы такого типа отсутствуют. Очень характерные спектры имеют по-лисилоксан и политетрафторэтилен. Для политетрафторэтилена, поливинилиденфторида, полиэтилена и некоторых других полимеров были получены масс-спектры отрицательно заряженных вторичных ионов. [14]
Страницы: 1