Cтраница 1
Диэлектрические материалы применяют в микроэлектронике в качестве изоляционных покрытий и масок при диффузии и ионной имплантации, герметизирующих покрытий легированных пленок, предотвращающих выход легирующих элементов, герметизирующих слоев, защищающих поверхности приборов от внешних воздействий, для диффузии примесей из слоев легированных оксидов, а также для геттерирования примесей и дефектов. Наиболее перспективны для этих целей оксид и нитрид кремния, а также имеющие более узкое применение оксинитрид кремния и некоторые стекла. [1]
Диэлектрические материалы должны обладать хорошей адгезией к материалам подложки, обкладок конденсаторов и коммутационных слоев, обеспечивать надежную электрическую изоляцию при минимальной толщине пленки, обладать малыми электрическими потерями, малым термическим коэффициентом емкости. В тонкопленочных конденсаторах необходимо использовать диэлектрики с высокой диэлектрической проницаемостью е о целью уменьшения площади конденсатора, при изоляции мест пересечения коммутационных слоев е должно быть минимальным для уменьшения паразитных связей в микросхеме. Наиболее сложной технической задачей является обеспечение надежной изоляции. [2]
Диэлектрические материалы выполняют в толстопленочных схемах две основные функции - изоляции в пересечениях и диэлектрика в конденсаторах. Кроме того, они используются при защите конструкций микросхем. [3]
Диэлектрические материалы предназначены для изоляции токоведущих частей электрооборудования, изоляции их от земли и заземлителеи. [4]
Диэлектрические материалы ( диэлектрики) - вещества, практически не проводящие электрический ток. [5]
Диэлектрические материалы используются в виде монокристаллов, поликристаллов, пленок, жидких кристаллов. Актуальной является задача получения тонкопленочных диэлектрических устройств. [6]
Диэлектрические материалы служат в качестве изоляции токоведущих частей коммутационных аппаратов. Они включают в себя такие разнообразные типы электрической изоляции, как вакуум, элегаз, воздух, нефтяные и искусственные масла, твердые диэлектрики. При этом физические условия, в которых должна находиться и функционировать изоляция, накладывают определенные требования на физико-химические параметры материала, ограничивая возможные вид и тип используемых электротехнических материалов. [7]
Диэлектрические материалы поляризуются также и в результате радиоактивного облучения. Для горных пород это имеет важное практическое значение, поскольку в геохимии известны сотн радиоактивных изотопов с периодами полураспада, изменяющимися в очень широких пределах. В горных породах электрические объемные заряды могут накапливаться вблизи границы раздела радиоактивной и нерадиоактивной пород с высоким удельным электрическим сопротивлением. [8]
Диэлектрические материалы имеют чрезвычайно важное значение для электротехники. К ним принадлежат электроизоляционные материалы; они используются для создания электрической изоляции, которая окружает токоведущие части электрических устройств и отделяет друг от друга части. Назначение электрической изоляции - не допускать прохождения электрического тпкя по каким-либо нежелательным путям, помимо тех, которые предусмотрены электрической схемой устройства. Очевидно, что никакое, даже самое простое, электрическое устройство не может быть выполнено без использования электроизоляционных материалов. [9]
Диэлектрические материалы имеют удельное сопротивление в 1010 - 1018 раз больше, чем проводники. Их электропроводность ничтожно мала. Поэтому применяются они для изоляции токоведу-щих частей машин, аппаратов и приборов. [10]
Диэлектрические материалы, смешанные с соответствующими добавками, помещают в полость подходящих электродов или превращают в брикеты или электроды, в которых в качестве связующего вещества использован пластик ( разд. В таком виде эти материалы подвергают возбуждению. В методиках с распылением порошков используют либо порошок пробы в чистом виде, либо порошок пробы, смешанный с добавками. Часто целесообразно порошковую пробу сплавить ( разд. [11]
Диэлектрические материалы широко применяются для облицовки стен, столов и для покрытия полов в производственных и бытовых помещениях. [12]
Диэлектрические материалы, используемые в качестве основы для нанесения печатной схемы, должны обладать достаточной механической прочностью, малыми диэлектрическими потерями, высокой теплостойкостью, негигроскопичностью и обеспечивать хорошую сцепляемость ( адгезию) материала платы с токопрово-дящими проводниками. [13]
Диэлектрические материалы являются хорошими электрическими изоляторами. Выбор материалов по их электрической прочности должен производиться в соответствии с условиями окружающей среды и поставленной задачей: чем более агрессивные условия, чем больше разность потенциалов и чем более жесткие рабочие условия, тем выше должно быть требуемое омическое сопротивление. [14]
Диэлектрические материалы должны быть приемлемыми с точки зрения пожарной безопасности: они не обязательно должны быть огнестойкими, если только не употребляются в непосредственной близости от источника воспламенения. Требуемая характеристика замедленности возгорания зависит от массы материала разделителя, локализации и времени выдержки в условиях нагрева. [15]