Откачная машина
Cтраница 2
 |
Устройство золотниковой откачной машины. [16] |
По способу соединения вакуумной системы откачного гнезда с вакуумной системой насосов различают три конструкции карусельных машин: с золотником в области низкого вакуума или высокого вакуума и без золотника. На рис. 189 показано устройство золотниковой откачной машины. [17]
Коммутирующим элементом в карусельных откачных машинах является золотник, который представляет собой прижатые друг к другу диски с притертыми торцовыми поверхностями. Один из дисков неподвижен, а другой периодически поворачивается с каруселью откачной машины. [18]
 |
Кинематическая схема 36-гнездного откачного автомата с золотником в области высокого вакуума. [19] |
Машина для откачки электронно-лучевых трубок карусельного типа с прерывистым вращением карусели. Отличительной особенностью ее является отсутствие вакуумного золотника, характерного для подавляющего большинства откачных машин. [20]
В то же время золотник является одним из самых узких мест в вакуумной системе откачных машин, так как в нем нельзя сделать большие проходные диаметры отверстия из-за резкого роста диаметров золотников, что ограничивает диаметры трубопроводов вакуумной системы откачных машин. [21]
Для уменьшения гаоаритов оборудования в карусельных откачных полуавтоматах вместе с обрабатываемым прибором перемещаются только диффузионные насосы, соединенные золотниками с неподвижными многокамерными механическими насосами. При откачке крупногабаритных приборов используется прямоточная вакуумная система в виде автономной ячейки, состоящей из двух насосов, откачной машины или конвейерной линии. Аналогичная система применяется на стационарных откачных постах. С целью получения сверхвысокого вакуума и исключения попадания масла применяется безмасляная система откачки, металлические штенгели и ряддругих мер. Вакуумный безмасляный агрегат состоит из электроразрядного ( гетероионного) насоса типа НЭМ или ГИН, сорбционных цеолитовых насосов, переключаемых с помощью электромагнитных вентилей. Для достижения лучшего вакуума применяется прогрев откачиваемой лампы с применением вакуумной печи - вакуум в вакууме, а вся вакуумная система выполнена металлической и также прогревается. Отпайка осуществляется с помощью медного штенгеля методом холодной сварки. Для улучшения вакуума, как уже указывалось, применяется дополнительная химическая откачка путем двойного ( частичного) распыления газопоглотителя или дополнительная откачка во время тренировки с помощью малогабаритного электроразрядного насоса, присоединяемого на дополнительном металлическом штен-геле. [22]
Приведенные принципиальные вакуумные схемы не исчерпывают всех возможных вариантов построения вакуумных систем карусельных откачных машин и конвейерных линий. В последнее время в связи с повышением требований к надежности и долговечности электровакуумных приборов получают распространение безмасляные средства откачки и на высокопроизводительных откачных машинах. Использование безмасляных средств особенно эффективно при бесштенгельной, камерной и раздельной откачке. [23]
В то же время золотник является одним из самых узких мест в вакуумной системе откачных машин, так как в нем нельзя сделать большие проходные диаметры отверстия из-за резкого роста диаметров золотников, что ограничивает диаметры трубопроводов вакуумной системы откачных машин. [24]
Общее время пребывания прибора на полуавтомате от загрузки до съема называется циклом откачки, который на многопози-ционных машинах равен числу позиций, умноженных на такт откачки. Тактом откачки называется время пребывания прибора на одной позиции полуавтомата плюс время перехода прибора с позиции на позицию. В электровакуумной промышленности применяют две разновидности откачных машин: карусельные и конвейерные. [25]
При этом затруднена взаимная блокировка вентилей, а габариты вакуумной системы в целом получаются значительными. Стремление упростить обслуживание и исключить возможные ошибки оператора при работе с вентилями приводит к необходимости компоновки коммутирующих элементов в едином блоке с жесткой последовательностью переключений. В тех случаях, корда блоки коммутирующих элементов используются в вакуумных системах и откачных машинах, предназначенных для откачки электровакуумных приборов через штенгели, откачное гнездо также является необходимым элементом блока. В конструкции блока объединены четыре клапана, имеющие следующие назначения: клапан 3 предназначен для отключения откачного гнезда / от вакуумной системы; клапан 6 - для сообщения откачного гнезда с механическим вакуумным насосом; клапан 4 - для соединения откачного гнезда с пароструйным диффузионным насосом и клапан 7 - для соединения выпускного патрубка пароструйного диффузионного насоса с механическим вакуумным насосом. [26]
Золотник является важным элементом, можно сказать основой каждой золотниковой карусельной откачной машины. Золотники могут иметь некоторое различие в форме поверхности соприкосновения дисков, способах подвода вакуумпрозодов и особенностях уплотнения дисков. Сферические золотники ( см. рис. 190, г) могут самоустанавливаться, но трудоемки в изготовлении. Современные откачные машины имеют высокую производительность и для быстроты откачки требуют наибольших проходных сечений отверстий золотников. [27]
Страницы: 1 2