Cтраница 2
Центр одной мембраны укреплен неподвижно, центр другой - под действием давления ( разрежения) может перемещаться за счет упругой деформации обеих мембран. Для получения линейной зависимости I от р применяются спец. Мембранные системы с защитными покрытиями применяют для иепосродств. Плоские металлические мембраны ( в сочетании с пьезо -, тензо - 1или емкостными преобразователями) применяются главным образом для измерения высоких, быстро изменяющихся давлений. Гармониковая мембрана - сильфон ( рис. 3, в), в отличие от гофрированной, обладает линейной зависимостью / от р в значит, пределах изменения р и допускает достаточно большие перемещения. Да; - смещение) прямо пропорциональна числу гофр, однако свойственный сильфонам значительный упругий гистерезис ( до 5 %) существенно снижает точность преобразования. Для снижения влияния гистерезиса сильфоны снабжают пружиной или заполняют жидкостью, защищающей одновременно сильфон при перегрузках. [16]
Пьезоэлектрические датчики давления могут быть разделены на две группы. В первой группе датчиков использовано сочетание упругого элемента с пьезокристаллом. Сведения, необходимые для проектирования датчиков этого типа, приведены в разд. В качестве упругого элемента используются плоские металлические мембраны. [17]
В гелиевой линии, соединяющей точный манометр с кипятильниками для воды и серы, необходимо предотвратить проникновение паров воды и серы в манометр. Это легко достигается путем охлаждения горизонтального участка линии сухим льдом. В аппарате, реализующем точку кипения кислорода, это, однако, выполнить не столь просто. В этом случае был избран метод помещения в соединительной линии плоской металлической мембраны ( диафрагмы) толщиной около 60 мкм, которая отделяет кислород от гелия. Чувствительность и воспроизводимость метода мембраны настолько велики, что возможно определение давления кислорода с точностью, эквивалентной точности 0 0001 при определении температуры кипения. Мембрана заключена в камеру с тесно расположенными стенками, так что при изменении давления она может прогибаться лишь на небольшую величину, упираясь в стенку, которая предохраняет ее от деформации выше предела упругости. [18]