Cтраница 2
Все узлы и приборы, используемые в вакуумной системе, перед сборкой необходимо проверить на герметичность, что предотвращает непроизводительные затраты времени и средств для отыскания мест натекания ( течей) в уже собранной системе. Если все же суммарное натекание в собранной вакуумной системе превышает допустимое, то необходимо отыскать течи и устранить их. [16]
Вакуумная плотность может определяться в системе, имеющей средство откачки и средство измерения вакуума. Для поиска места натекания воздуха в участках системы, расположенных за местом присоединения измерительного прибора, эти участки поочередно отключают. Если после отключения какого-либо участка вакуум улучшается, место течи находится в отключенном участке. [17]
Не менее важным является прибор для проверки оборудования на герметичность, т.н. течеискатель. От прибора требуется, чтобы он обнаруживал место малейшего натекания воздуха внутрь машины. [18]
Если вакуум постепенно ухудшается, то экспериментатору приходится искать место натекания. Искать незаметные простым глазом места натекания, когда манометр Мак-Лео да показывает повышение давления до 0 01 - 0 005 мм в течение 1 - 2 час. Допустим, что прибор не держит вакуума. Если кран угловой, то отсутствие натекания по торцам гарантировано ртутным уплотнением. Оставляя эвакуированный прибор с закрытым краном 14 при работающих ртутных насосах на несколько часов, можно удостовериться в пригодности крана; если натекание воздуха продолжается, то это означает, что причиной его является не кран 14, защищенный с одной стороны ртутными насосами. Далее, можно исключить на время испытания манометр Мак-Леода, заполнив его целиком ртутью. Если натекание все же продолжается, то это значит, что пропускает кран 8, но только в том случае, если торцы его не залиты ртутью. Наконец, приходится заподозрить недоброкачественную пайку частей аппаратуры. Все места спаев, особенно тройных, тщательно осматривают в лупу. Очень полезно зеркальце, применяемое врачами ларингологами. Обнаружив малейший пузырек, плохо заваренную пленку, царапину, это место покрывают горячим пицеином или раствором целлулоида в амилацетате и снова производят испытание. [19]
Если потеря вакуума произошла без разрыва мембраны из-за пропусков в наружном кожухе, вакуум восстанавливают с помощью стационарного или переносного вакуумного насоса. Таким образом обеспечивают работу емкости до ближайшего планового ремонта, определяя место натекания гелиевым течеискателем и устраняя натекание с помощью герметизирующих замазок или пленок. [20]
Для обнаружения места течи могут служить различные явления, связанные с выходом сжатого газа из мест натекания. Так, если внутри сосуда создано повышенное давление воздуха или азота, то в качестве указателя может служить задувание или колыхание пламени какой-либо горелки, поднесенной к негерметичному месту, или даже звук ( шипение) выходящего газа. [21]
При затяжке гаек следует применять торцевой ключ с воротком длиной 200 мм. При работах по исправлению уплотнений необходимо постоянно вести замеры н записи вакуума, так как это ускоряет нахождение места натекания. Нсли после затяжки болтов на всех фланцах натекание не устранено, следует осмотреть все бьющиеся детали. Осмотр через лупу начинают с катодного фарфорового кольца. Затем осматривают изоляторы анодных выводов. Если после этого натекание не обнаружено, то вынимают поочередно все аноды, а на их место ставят заглушки, проверяя каждый раз натекание. [22]
При затяжке гаек следует применять торцевой ключ с воротком длиной 200 мм. При работах по исправлению уплотнений необходимо постоянно вести замеры н записи вакуума, так как это ускоряет нахождение места натекания. Нсли после затяжки болтов на всех фланцах натекание не устранено, следует осмотреть все бьющиеся детали. Осмотр через лупу начинают с катодного фарфорового кольца. Затем осматривают изоляторы анодных выводов. Если после этого натекание не обнаружено, то вынимают поочередно все аноды, а на их место ставят заглушки, проверяя каждый раз натекание. [23]
Излагаются сведения по кинетической теории газов, физике вакуума и процессам на поверхности твердых тел, соприкасающихся с газами. Приводятся методы расчета вакуумных систем, современные средства откачки, измерения общего и парциального давлений, методы обнаружения мест натекания. В отличие от первого издания 1975 г. во втором приводятся принципы построения вакуумных систем оборудования для нанесения тонких пленок и других установок полупроводникового производства. [24]
Если вакуум постепенно ухудшается, то экспериментатору приходится искать место натекания. Искать незаметные простым глазом места натекания, когда манометр Мак-Лео да показывает повышение давления до 0 01 - 0 005 мм в течение 1 - 2 час. Допустим, что прибор не держит вакуума. Если кран угловой, то отсутствие натекания по торцам гарантировано ртутным уплотнением. Оставляя эвакуированный прибор с закрытым краном 14 при работающих ртутных насосах на несколько часов, можно удостовериться в пригодности крана; если натекание воздуха продолжается, то это означает, что причиной его является не кран 14, защищенный с одной стороны ртутными насосами. Далее, можно исключить на время испытания манометр Мак-Леода, заполнив его целиком ртутью. Если натекание все же продолжается, то это значит, что пропускает кран 8, но только в том случае, если торцы его не залиты ртутью. Наконец, приходится заподозрить недоброкачественную пайку частей аппаратуры. Все места спаев, особенно тройных, тщательно осматривают в лупу. Очень полезно зеркальце, применяемое врачами ларингологами. Обнаружив малейший пузырек, плохо заваренную пленку, царапину, это место покрывают горячим пицеином или раствором целлулоида в амилацетате и снова производят испытание. [25]
Места натекания в корпусе ртутного выпрямителя определяют предварительно путем проверки крепления фланцев и затяжки гаек на фланцах, если они были слабо затянуты. Порядок затяжки гаек рекомендуется производить в такой последовательности: каждая следующая затягиваемая гайка должна быть диаметрально противоположна предыдущей. При затяжке гаек следует применять торцовый ключ с воротком длиной 200 мм. При выполнении работ по исправлению уплотнений необходимо постоянно вести замеры и записи вакуума, так как это ускоряет нахождение места натекания. Если посл е затяжки болтов на всех фланцах натекание не устранено, следует просмотреть все бьющиеся детали. Осмотр начинают с катодного фарфорового кольца; осмотр следует производить через лупу. Затем осматривают изоляторы анодных вводов, выводов анодов во избежание зажигания смотрового стекла, если оно есть. Если после осмотра натекание обнаружено не будет, необходимо вынуть поочередно все аноды, а на их место ставить заглушки на уплотнениях, проверяя каждый раз натекание. [26]
Температура в обогреваемых аппаратах регулируется автоматически в заданных пределах с помощью электронных приборов, имеющих позиционные регуляторы. Аппараты, баки, хлоропроводы, а также связь между помещениями, например залами электролиза, контрольно-измерительных приборов и электростанцией, оснащены системами сигнализации, которые оповещают об аварийном ладении давления хлора в магистральном хлоропроводе при разгерметизации последнего; о величине разрежения во внутрицеховом хлоропроводе; о нарушении давления в вакуумной системе отгонки калия, осуществляя одновременно автоматическое натекание инертного газа в систему. Автоматической сигнализацией снабжены все вентиляционные устройства, которые немедленно сообщают о нарушении ее работы. На аппаратах, в системе непрерывной дистилляции свинцово-калиевого сплава, в которые сливается калий, установлены следящие радиационные уровнемеры, а барометрические трубы, подающие богатый свинцово-калиевый сплав в дистилляционную систему и отводящие кубовый сплав, оснащены ультразвуковымл приборами. Эти приборы позволяют непрерывно показывать содержание калия в движущемся по трубам свинцово-калиевом сплаве в замкнутом контуре системы. В производстве калия установлены течеискатели, которые обнаруживают место натекания в вакуумную систему дистилляции. [27]