Cтраница 4
Методы измерения толщины пленок. [46] |
Простейшим из этих методов является метод цветовой шкалы, в котором используется изменение интерференционной окраски прозрачной пленка при изменении ее толщины. Этот метод требует предварительной калибровки цветов по какому-нибудь другому абсолютному методу измерения толщины. В интерференционных методах многолучевой интерферометрии определяется смещение полос Физо на ступеньке подложка - пленка. Более совершенным является способ полос равного хроматического порядка, при котором может применяться белый свет. Спектрофото-метрические методы используют изменение амплитуды поляризованного света при отражении от границ раздела подложка - пленка и пленка - внешняя среда. Обычно снимается зависимость отражательной способности системы от длины волны света при нормальном падении луча. Метод позволяет определить толщину и показатель преломления материала пленки, но он достаточно трудоемок. [47]
Рассмотрим сначала, как должны назначаться числа импульсов на дисках при абсолютном методе измерения. [48]
Каскадное. соединение кристаллов Холла. [49] |
Давление, оказываемое электромагнитными волнами на отражающую поверхность, может быть положено в основу абсолютного метода измерения мощности в диапазоне с. Результат зависит только от измерения массы, длины и времени и не зависит от вторичных электрических эталонов, как это имеет место в болометрическом и калориметрическом методах. [50]
Абсолютный метод измерения ( известный также под названием метода магнитных масштабов) применяется в настоящее время для контроля прецизионных зубофрезерных станков крупных габаритов, на которых можно установить диски больших размеров. Изготовление дисков небольших размеров с точно нанесенными магнитными рисками промышленностью не освоено, и поэтому абсолютный метод измерения в приборостроении не нашел применения. Распространению абсолютного метода измерения препят-ствует также и необходимость в большом числе дисков с различным числом магнитных рисок в зависимости от передаточных отношений проверяемых механизмов. [51]
Так, академик Л. И. Мандельштам создал абсолютный метод градуировки волномеров; А. Я. Вайнберг, Н. К. Титов и другие наши исследователи внесли большой вклад в разработку абсолютных методов измерения и контроля радиочастот; Б. К. Шембель, М. С. Нейман и ряд других ученых выполнили большую работу по созданию генераторов стабильной частоты, играющих значительную роль в устройствах для измерения частоты. [52]