Резистивный метод
Cтраница 1
Резистивный метод основан на измерении сопротивления металлической пленки в процессе ее нанесения. [1]
Резистивный метод основан на измерении сопротивления контрольного образца ( свидетеля), напыляемого одновременно с основной пленкой. Этот метод применим только к проводящим пленкам. Он не пригоден для измерения пленок с малым сопротивлением ( 1 Ом / кв), так как переходные сопротивления соизмеримы с сопротивлением пленки. [2]
Резистивный метод позволяет контролировать скорость осаждения пленки и прекращать напыление по достижении заданной толщины путем включения заслонки. [3]
Резистивный метод и в принципиальном отношении отличается от резистивно-реактивного. Действительно, если в резистивно - реактивном методе дискретизируются лишь пространственные координаты, то в ре-зистивном предусматривается дискретизация также времени. Другими словами, резистивно-реактивный метод позволяет точнее исследовать изменение процесса во времени. Резистивный же метод изучает изменение процесса во времени приближенно. [4]
 |
Измерение скорости напыления ионизационным манометром. [5] |
Точность измерения толщины резистивным методом 5 - 10 %, но он применим только к проводящим пленкам. [6]
Тигель 11 с испаряемым металлом нагревается резистивным методом, хотя может быть применен индукционный или электронно-лучевой нагрев. [7]
Для определения толщины тонких пленок могут быть применены резистивный метод, метод микровзвешивания, оптический, радиочастотный и другие методы. Многие из них позволяют производить измерение толщины пленки в процессе термического напыления в вакууме и управлять режимами технологического процесса. [8]
Применяют три способа нагрева движущейся полосовой стали: прямое пропускание тока по стальной полосе ( резистивный метод); индукционный нагрев полосы в высокочастотном электромагнитном поле и электронно-лучевой нагрев, при котором температура стали повышается вследствие бомбардировки ее поверхности потоком электронов. [9]
Нагрев стали, необходимый для дегазации, обеспечения хорошей адгезии и равновесной структуры покрытия, можно проводить в одной камере, но из экономических соображений целесообразно разделить этап дегазации на две части с тем, чтобы основная масса растворенного в стали газа выделялась в первой камере при давлении порядка КГ1 Па, а окончательное обезгажи-вание проводилось в более высоком вакууме. Для нагрева непрерывно движущейся стали применяют резистивный метод или электронно-лучевой со сканированием луча по поверхности полосы. В одной установке иногда применяют оба метода: предварительный нагрев в камере 8 проводится резистивным методом, а окончательный - в камере 9 электронно-лучевым. [10]
 |
К расчету толщины покрытия на полосе при испарении из тигля произвольной формы, ограниченного прямоугольным контуром. [11] |
В практике металлизации часто применяют испарители, в которых испарение происходит не только с горизонтальной поверхности расплава, но и с наклонных участков. Так, при использовании металлокерамических брусков, нагреваемых резистивным методом, и при подаче испаряемого материала в одном месте бруска, его располагают наклонно, чтобы увеличить площадь и равномерность смачивания. При индукционном и электроннолучевом нагреве металл часто испаряется с внутренних стенок тиглей. При испарении из лодочек за счет капиллярных явлений металл также поднимается по наклонным стенкам и испаряется с них. [12]
Нагрев стали, необходимый для дегазации, обеспечения хорошей адгезии и равновесной структуры покрытия, можно проводить в одной камере, но из экономических соображений целесообразно разделить этап дегазации на две части с тем, чтобы основная масса растворенного в стали газа выделялась в первой камере при давлении порядка КГ1 Па, а окончательное обезгажи-вание проводилось в более высоком вакууме. Для нагрева непрерывно движущейся стали применяют резистивный метод или электронно-лучевой со сканированием луча по поверхности полосы. В одной установке иногда применяют оба метода: предварительный нагрев в камере 8 проводится резистивным методом, а окончательный - в камере 9 электронно-лучевым. [13]
Указанный метод применяется также для моделирования двумерных и трехмерных полей. В связи с Тем, что нас интересует принципиальная сторона метода, здесь вопросы применения его к решению двумерных и трехмерных задач не рассматриваются. Резистивный метод моделирования нуждается в основательной автоматизации, так как при наличии большого числа узловых точек сетки измерение искомых потенциалов и их экстраполирование на свободные концы сопротивлений RQ требует длительного времени и определенных усилий. [14]
Страницы: 1