Двухзондовый метод
Cтраница 2
Подобен этому двухзондовый метод измерения. Различие заключается в том, что для протекания тока через образец на его торцы наносят омические контакты. Операция эта достаточно трудоемкая, поэтому двухзондовый метод в основном используют в настоящее время для измерения удельного сопротивления слитков полупроводников и образцов правильной геометрической формы. [16]
В описанных выше методиках измерения р предполагалось, что материал образца однороден. В физических исследованиях и различных технологических процессах микроэлектроники возникает необходимость измерения распределения удельного сопротивления в неоднородных образцах. Улучшение разрешающей способности, таким образом, требует уменьшения параметра s четырехзондовой головки, что вызывает значительное увеличение погрешности измерений. Разрешающая способность при измерениях р двухзондовым методом определяется расстоянием между зондами / и при той же погрешности измерения может быть несколько лучше. Принципиальная схема метода движущегося зонда показана на рис. 153, а. [18]
Страницы: 1 2