Микрообъектив
Cтраница 5
Если такие репродукционные объективы используются вместо микрообъективов, как показано на рис. 19, о, то можно одновременно проецировать матрицу рисунков интегральной схемы. Поскольку повторное экспонирование отдельных подложек является трудоемкой операцией, этот метод более пригоден при изготовлении хромовых фотошаблонов. Долговечность и бездефектность в некоторой степени компенсируют более высокую стоимость этого метода изготовления шаблонов. [61]
 |
Микроконденсор Аббе. [62] |
Осветитель микроскопа должен обеспечивать заполнение апертуры микрообъективов. [63]
При помощи оптического конденсора 2 и микрообъектива 4 световые лучи, падающие от источника тока /, собираются в световую точку. В середине зеркала 5 имеется отверстие 6 для пропускания световых лучей на чертеж а. Ток фотоэлемента 6 при помощи усилителя управляет механизмами станка, обеспечивающими приведение во вращение продольного и поперечного ходовых винтов. [64]
Следует особо выделить следующие три группы микрообъективов. [65]
Страницы: 1 2 3 4 5