Акустический микроскоп
Cтраница 1
 |
Акустическое изображение. [1] |
Акустические микроскопы применяют [162, 248] для НК различных материалов, изделий микроэлектроники, в биологии и медицине. [2]
 |
Акустическое изображение. [3] |
Сканирующие акустические микроскопы выпускаются рядом зарубежных фирм. [4]
Лабораторный сканирующий акустический микроскоп / / Дефектоскопия. [5]
В работе [29] рассмотрено применение растрового лазерного акустического микроскопа ( РЛАМ) для измерений пространственных распределений скорости звука в образцах биологических тканей толщиной 300 - 900 мкм на частоте 100 МГц. В РЛАМе формирование трансмиссионных акустических ( модулированных по затуханию звука) изображений образца осуществляется с помощью сканирующей лазерной системы, воспроизводящей микромасштабное пространственное распределение амплитуды смещения нижней поверхности зеркального покровного стекла, установленного над исследуемым образцом. Акустическая волна, падающая наклонно на образец снизу, проходит через него и вызывает деформацию поверхности отражателя, которая считывается лазерным лучом. [6]
Одним из наиболее ярких достижений современной пьезотех-ники объемных волн является создание сканирующего акустического микроскопа сверквысокого разрешения, в пределе ( при переходе к рабочим частотам порядка 100 ГГц) достигающего разрешения менее 10 нм. Это открывает широкие перспективы неразрушающего контроля СБИС с субмикронными ( вплоть до наномет-ровых) элементами. [7]
Ультразвуковые микроскопы такого типа часто называют Scanning Laser Acoustic Microscope ( SLAM) - сканирующий лазерный акустический микроскоп. [8]
 |
Акустическое изображение. [9] |
Звуковое изображение ОК получается при последовательном сканировании объекта акустической системой, поэтому такой микроскоп называют сканирующим ( иногда растровым) акустическим микроскопом. Развертка изображения на экране монитора происходит синхронно с перемещением акустической системы. На полутоновом черно-белом или цветном экране отображается амплитуда отраженной в ОК акустической волны. В результате получается двумерное изображение в виде С - и 5-развертки. [10]
 |
Акустическое изображение. [11] |
На рис. 2.88 представлены акустическое и оптическое изображения интегральной схемы, полученные с помощью микроскопа ELSAM. Акустический микроскоп позволяет обнаружить подповерхностные дефекты, микротрещины, расслоения, которые невозможно наблюдать оптическим микроскопом. [12]
Для получения пространственных распределений коэффициента затухания с успехом могут быть использованы акустические микроскопы, работающие на высоких частотах и обладающие высокой разрешающей способностью. [13]
По аналогии с оптикой обычно принято считать, что сферическая поверхность является наиболее естественной формой фокусирующей поверхности. Однако не следует забывать, что широкое использование сферических преобразователей часто обусловлено простотой их изготовления, а вовсе не тем, что они во всех случаях имеют преимущества по сравнению с поверхностями другого профиля. Следует также отметить, что на практике многие фокусирующие системы характеризуются сравнительно небольшими значениями отношения диаметра излучателя к длине волны, при этом различие между идеальной и сферической поверхностями становится несущественным. Исключение составляют широкоугольные линзовые фокусирующие системы ( типа тех, которые используются в акустических микроскопах, см. гл. [14]
Поэтому актуальной представляется аадачо изучения механизмов образования и существования дефектов у процессе изготовления материала и при дальнейшей его обработке. Ив менее интересно изучение корреляции полученной информации с количественными характеристиками материала. При этом желательно проведение намерения с помощью методов исследования, основанных на одних принципах. Они основаны но взаимодействии акустических ноли ( ЛИ) с частотами от 10 МГц до нескольких ГГц со структурными образованиями исследуемых объектов, Режим визуализации позволяет формировать акустические изображения дефектов различной природы, размеров, типов. Причем, благодаря тому факту, что большинство металлов и сплавов являются прозрачными для АВ используемого див-н ааона, перечисленные дефектные образования можно визуализировать ме только но поверхности, но и в объеме исследуемого объекта или под сдоями различных покрытий. Значительные преимущества представляет количественный метод определения упругих характеристик по значениям скорости Уц и поверхностных акустических ноли. ГОВ, включений, скоплений дислокаций, эти характеристики образце изменяются ЧТО приводит к изменению акустического контраста на ИаобраЖОНИИХ, Полученные результаты позволяют перейти к разработ - КР способе ОП НДОЛ ИИЯ локальных областей критических напряжений К областей за южлеини дефектов, а также трансформации образовавшихся структур и упругих характеристик в процессе деформации образца. Происходящие и) Ж ггом процессы самоорганизации идут с образованием локализованных дефектов, дислокаций, чисти неподобных структур. Существующие сканирующие акустические микроскопы ( 3 ] позволяют научать И сами вти дефекты, а их влияние на упруго-механические ха - pHRTppHfttiiKH образцов кик в статическом режиме, так и в условиях динамического погружение и деформации. [15]
Страницы: 1