Cтраница 3
Пленки моноокиси германия также получают термическим испарением, но при более низких, чем для моноокиси кремния, температурах. Благодаря большему значению диэлектрической проницаемости ( е я 10), с приемлемым процентом выхода годных получают конденсаторы с С0 150 - - 200 пФ / мм2 при рабочих напряжениях до 15 В. Существенным преимуществом моноокиси германия по сравнению с моноокисью кремния является то, что существуют многочисленные рецепты травителей, позволяющих селективно снимать пленку моноокиси германия без заметного воздействия на другие, ранее изготовленные элементы пленочной микросхемы. [31]
Образование летучих соединений германия полукоксов углей при их сжигании и термической обработке зависит главным образом от температуры процесса, характера газовой среды и степени метаморфизма угольного вещества. Добавление водяного пара в воздушное дутье интенсифицирует переход германия в летучие соединения. При этом они улетучиваются в виде моноокаси и двуокиси германия. По-видимому, летучая моноокись германия переходит в газовую фазу как промежуточное соединение, которое в последующем окисляется до 4-валентного состояния. [32]