Монохлорид - галлий
Cтраница 1
 |
Система галлий - три-хлорид галлия.| Система галлий - иод. [1] |
Монохлорид галлия GaCl образуется в газовой фазе действием паров трихлорида на металл; при конденсации дис-пропорционирует, образуя дихлорид. [2]
Для определения скорости образования монохлорида галлия были найдены условия полного диспропорционирования GaCl. [3]
Для расчета констант равновесия этих реакций потребовалось уточнение стандартных энтальпий монохлорида галлия и двухатомного мышьяка, величины которых приводятся в литературе с большим разбросом. С этой целью экспериментально изучался состав пара мышьяка и равновесия в системе галлий - хлор методом кварцевого мембранного манометра. [4]
Для расчета геометрического профиля реактора использовалось дифференциальное уравнение массопереноса с дополнительным условием постоянства массовых потоков молекул монохлорида галлия и мышьяка к поверхности эпитаксиального слоя в любой его точке. [5]
Предлагаемое сообщение посвящено результату экспериментального определения кинетических закономерностей процесса транспорта галлия хлористым водородом, а именно, определению скорости транспорта галлия, скорости образования монохлорида галлия и изучению состава газа в зоне гидрохлорирования галлия. [6]
К - постоянная, равная 7 9 - 10 - 5 при градиенте температуры 5 град / см; F - расход парогазовой смеси; в и / - поперечный и продольный размеры поверхности подставки; q - величина массового потока молекул монохлорида галлия или мышьяка. [7]
Расчет изобарных потенциалов, констант равновесий и степеней равновесного превращения всевозможных реакций взаимодействия НС1 с галлием [5] показал, что процесс гидрохлорирования сопровождается образованием моно -, ди - и трихлорида галлия. Наконец, монохлорид галлия может взаимодействовать с НС1 с образованием ди - и трихлорида галлия. [8]
 |
Схема установки химического осаждения из газовой фазы. [9] |
Смесь трех газов вводится в поток транспортирующего газа водорода после источника Ga. Газообразный НС1 над жидким галлием дает летучий монохлорид галлия - один из реагентов, необходимых для образования тройного соединения AlnBv. Легирование, необходимое для получения проводимости р-типа, осуществляется введением паров Zn в - реакционную зону. [10]
Эта температура соответствует температуре, при которой экспериментально было зафиксировано полное диспропорционирование GaCl с выделением галлия на стенках конденсатора. Из рис. 4 видно, что при уменьшении температуры реакции фронт диспропорционирования перемещается в зоне реакции, приближаясь при 673 К к реакционной зоне. Этот факт свидетельствует о том, что уже при этой температуре монохлорид галлия не транспортируется из реакционной зоны. [12]
Все шире в газотранспортных процессах получения полупроводниковых соединений применяется транспорт галлия в виде его же соединений. В качестве транспортирующего агента наиболее часто используется хлористый водород, в результате взаимодействия которого с галлием образуются хлориды галлия. Из экспериментов Ричмана [1] известно, что активным галогенидом, участвующим в процессе синтеза полупроводникового соединения, является монохлорид галлия. Гастингер [2] экспериментально показал существование соединения, близкого по своему составу к монохлориду галлия. Голдсмит [3] и советские авторы Г. А. Ко-ковин и Ф. А. Кузнецов [4] на основании термодинамических расчетов определелили долю GaCl в составе хлоридов. Полученные разными авторами данные противоречивы. [13]
Все шире в газотранспортных процессах получения полупроводниковых соединений применяется транспорт галлия в виде его же соединений. В качестве транспортирующего агента наиболее часто используется хлористый водород, в результате взаимодействия которого с галлием образуются хлориды галлия. Из экспериментов Ричмана [1] известно, что активным галогенидом, участвующим в процессе синтеза полупроводникового соединения, является монохлорид галлия. Гастингер [2] экспериментально показал существование соединения, близкого по своему составу к монохлориду галлия. Голдсмит [3] и советские авторы Г. А. Ко-ковин и Ф. А. Кузнецов [4] на основании термодинамических расчетов определелили долю GaCl в составе хлоридов. Полученные разными авторами данные противоречивы. [14]
В соответствии с реакциями ( 1) и ( 2) мольное отношение стравливаемого галлия к поступающему треххлористому мышьяку в период насыщения должно равняться трем, так как равновесие этих реакций смещено вправо. Экспериментальные значения отношений для температур 820 и 730 С, вычисленные с поправкой на вес растворяемого мышьяка, оказались равными 2 89 и 2 92 соответственно. Методом непрерывного взвешивания подложек установлено, что в процессе насыщения галлия мышьяком не происходит ни осаждения эпитаксиального слоя на подложке, ни ее травления, поскольку в газовой фазе за зоной галлия мышьяк и хлористый водород отсутствуют. Таким образом, в этот период в газовом потоке, помимо водорода, присутствует только монохлорид галлия. [15]
Страницы: 1