Cтраница 2
По нормали к весьма тонкому слою окисла создается очень сильное электрическое поле. Так как потенциал окисления имеет порядок 1 В, то по нормали к пленке, имеющей толщину - 1 нм ( 10 А), создается поле - Юв В / нм. Ионы металла протягиваются чере пленку. С утолщением пленки влияние поля быстро уменьшаемся и становится недостаточным для дальнейшего роста. При отсутствии подвода тепловой энергии, достаточной для поддержания непрерывного роста за счет диффузии ионов в условиях градиента концентрации в пленке, скорость окисления упадет очень быстро. Конечная толщина пленки при комнатной температуре составит 1 - 4 нм ( 10 - - 40 А), что соответствует обычному порядку толщины. Примерно через месяц утолщение практически прекращается При повышении температуры окисления конечная толщина будет возрастать, но если рост вызван наличием сильного электрического поля, то окисел никогда не будет быстро расти. [16]