Cтраница 2
Толстые физически сплошные пленки как с монокристаллической, так и аморфной структурой ( оксидные пленки в своем большинстве являются именно аморфными) и массивные образцы соответствующих материалов имеют примерно одинаковые диэлектрические свойства. Характерные особенности пленок, такие, как наличие сквозных пор, неоднородность толщины, нестехиометричность и неоднородность состава, анизотропия свойств, а также существование ловушечных уровней, связанных со структурными дефектами, влияют на их диэлектрические свойства и процесс переноса электронов. Все указанные отклонения параметров пленок от идеальных, свойственные многокомпонентным диэлектрическим пленкам, определяются условиями их осаждения. Пленки SiO, осаждаемые из паровой фазы как физическими, так и химическими методами, всегда неоднородны по составу, а в некоторых случаях они содержат смесь Si с SiOx. Диэлектрическая проницаемость и оптические постоянные неоднородных по составу пленок существенно отличаются от соответствующих параметров массивных образцов и зависят от температуры и метода осаждения. [16]
В отличие от гидрофильных пленок, покрытия, образованные гидрофобными пленкообразователями, в частности эпоксидными или хлорсодержащими сополимерами, способны длительное время сохранять высокое электрическое сопротивление и тем самым препятствовать развитию коррозионного процесса. Проводимость таких покрытий может возникнуть лишь в результате наличия сквозных пор, заполняемых электролитом, или появления дефектов. Подобным дефектом может явиться поверхность раздела связующее - дисперсный наполнитель. [17]