Cтраница 1
Насосы поверхностного действия являются сухими насосами, что полностью исключает опасность подобных загрязнений откачиваемого объема. Поэтому при помощи насосов поверхностного действия и особенно при помощи крионасосов обеспечиваются наиболее чистые вакуумные условия. [1]
К недостаткам насосов поверхностного действия следует отнести то, что все они, и особенно крионасосы, отличаются довольно резко выраженной селективностью по откачке различных газов в сравнении с динамическими насосами. [2]
Существенной особенностью насосов поверхностного действия является то, что они могут работать ограниченное время до появления насыщения. В результате насыщения откачивающая поверхность теряет свою активность и наступает значительное ослабление откачивающего действия или полное его прекращение. Поэтому для восстановления активности откачивающей поверхности должна производиться регенерация насоса. Регенерация бывает двух типов: непрерывная и периодическая. При непрерывной регенерации активность откачивающей поверхности поддерживается за счет постоянного восстановления ее откачивающих свойств в процессе откачки без останова насоса. Так, в геттерныд насосах это реализуется путем постоянного осаждения геттера на откачивающую поверхность насоса. Кроме того, при наличии интенсивных выделений неконденсируемых газов крионасосы требуют сравнительно высокопроизводительных вспомогательных средств откачки, что приводит к усложнению откачной системы. [3]
Криоконденса-ционные насосы, как и все насосы поверхностного действия, характеризуются резкой селективностью по откачке различных газов. Поэтому вакуумные системы с использованием этих насосов требуют вспомогательных средств откачки. [4]
Следует также отметить большое достоинство многих видов насосов поверхностного действия, заключающееся в том, что в них нет подвижных деталей, а значит, при их работе отсутствуют вибрации и шумы, что в некоторых случаях может быть решающим при выборе насоса. [5]
Еще менее обоснован такой подход по отношению к насосам поверхностного действия. Он бесперспективен, например, с позиций количественной оценки структурного совершенства самого НПД как совокупности сорбирующих и отражающих молекулы газа поверхностей. Используемый иногда для этого вакуум-фактор X дает лишь ориентировочное представление о совершенстве насоса. К примеру, можно легко построить модели НПД с Х 1, но с весьма нерациональной геометрической структурой. Поэтому одной из целей анализа молекулярных потоков в структурах с сорбирующими стенками должно быть создание замкнутой математической модели НПД как объекта структурно-параметрического анализа. Из сказанного десь, разумеется, не следует вывод о необходимости исключить быстроту действия из круга параметров НПД. Быстрота действия и производные от нее велинины остаются эффективными, точно отражающими сущность процессов в равновесном газе категориями; они очень удобны, например, при стандартных измерениях характеристик насосов. Речь идет лишь о том, чтобы четко осознавать границы применимости этого понятия и при необходимости дополнять его физически более содержательными категориями. [6]
ВС - вакуумная система; ВВН - высоковакуумный нас с; НПД - насос поверхностного действия; ИКМ - интегрально-кинетический метод; ММК - метод Монте-Карло; МУК - метод угловых коэффициентов; МЭП - метод эквивалентных поверхностей; РГ - разреженный газ. [7]
Здесь же сформулированы общие критерии и принципы построения оптимальных вакуумных систем на основе структур с сорбирующими стенками, а также понятия и соотношения, составляющие в совокупности математическую модель насоса поверхностного действия. [8]
Насосы поверхностного действия являются сухими насосами, что полностью исключает опасность подобных загрязнений откачиваемого объема. Поэтому при помощи насосов поверхностного действия и особенно при помощи крионасосов обеспечиваются наиболее чистые вакуумные условия. [9]
Сверхвысоковакуумные установки обычно изготавливают цельнометаллическими с использованием разборных соединений с применением медных или алюминиевых прокладок, поэтому установки для обезгаживания можно прогревать до 400 - 500 С. Для получения безмасляного вакуума в установках этого типа чаще используют насосы поверхностного действия ( геттерно-ионные испарительные, распылительные, криогенные, сорбционные и др.), а также их комбинации. [10]
Вторую группу составляют насосы, активные элементы которых в процессе работы насоса остаются неподвижными. Общим для этих насосов является то, что откачиваемый газ не выводится из насоса. К насосам этой группы, иногда называемым насосами поверхностного действия, относятся геттерные, криоадсорбционные и криоконденсационные насосы. Рассмотрим принципиальные различия между этими двумя группами насосов. [11]