Диффузионный масляный насос

Cтраница 1

Диффузионный масляный насос откачивает установку до высокого вакуума. На рис. 67 показано устройство насоса. [1]

Фракционирующие диффузионные масляные насосы автоматически удаляют более легкие фракции масла из области высоковакуумного сопла, откуда они могли бы проникнуть внутрь перегонного аппарата. Эти насосы обеспечивают постоянный и глубокий вакуум. Ниже приводится характеристика изготовляемых у нас масляных диффузионных насосов малой и средней мощности. [2]

Вариант конструкции диффузионного насоса. [3]

Некоторым недостатком диффузионных масляных насосов является то, что они могут работать лишь одновременно с форваку-умным насосом, который все время поддерживает требуемое разрежение в форбаллоне, и поэтому установка требует непрерывного присмотра. При ртутном же насосе после того, как требуемый вакуум достигнут, откачку форбаллона можно прекратить. [4]

Состав остаточной атмосферы в вакуумной системе, откачиваемой диффузионными масляными насосами, весьма разнообразен. [5]

Следует отметить, что даже при использовании для подкачки диффузионного масляного насоса в откачиваемом Объеме полностью отсутствуют следы рабочего масла или продукты его разложения. Это объясняется термическим разложением паров масла в полости геттерно-ионного насоса с последующим поглощением продуктов разложения. Часто для предварительной откачки насоса до давления 10 - 3 - 10 - 4 мм рт. ст. применяют адсорбционные цеолитовые насосы. Например, на базе геттерно-ионного насоса ГИН-05М1 и двух цеолитовых адсорбционных насосов создан безмасляный вакуумный ионно-геттерный агрегат ВЙГА-500-1. Для откачки генераторных и модуляторных приборов последовательно устанавливают геттерно-ионный насос, диффузионный насос Н1С2 и Механический насос ВН-416М. [6]

Физические свойства рабочих жидкостей диффузионных насосов. [7]

В экспериментах высокого вакуума проблема обратного натекания паров из диффузионного масляного насоса является очень серьезной, поскольку натекание вносит дополнительные примеси и, следовательно, ухудшает свойства осаждаемых пленок. Кроме того, аккумулированный до осаждения пленки слой масла на поверхности подложки часто является причиной неудовлетворительной адгезии пленок. Поэтому были предприняты значительные усилия по изучению и устранению источников обратного потока паров. [8]

В состав экспериментальной установки входили герметическая рабочая камера с образцами, диффузионный масляный насос, форвакуумный насос, баллон для заполнения рабочей камеры газом, а также электропитательная и измерительная аппаратура. [9]

Принцип разгонки, использованный в только что рассмотренной конструкции, позволяет усовершенствовать простые диффузионные масляные насосы. Для того чтобы в простом насосе любой конструкции осуществить условия для разгонки ( в газообразной фазе), необходимо патрубку предварительного вакуума придать вид, аналогичный трубке с колбочками, как показано на рис. 5 - 60; кроме того, существенное значение имеет и утепление части патрубка, ближайшей к корпусу насоса: утепление не препятствует конденсации тяжелых фракций масла, которые должны стекать отсюда в испаритель, и в то же время оно не позволяет конденсироваться здесь легким фракциям, которые, свободно проходя через слабо охлаждаемый холодильник и утепленную часть патрубка, конденсируются в колбочках и в испаритель не попадают. [10]

Рабочее давление в камере создается последовательно соединенными механическим насосом типа ВН-461 и диффузионным масляным насосом марки ДОУ-250. Для улавливания паров масла при откачке рабочей камеры насосами в системе предусмотрены ловушки, охлаждаемые жидким азотом. Питание испарителя осуществляется от трансформатора, напряжение на первичной обмотке которого регулируется автотрансформатором типа ЛАТР-1. Скорость испарения металла может контролироваться по величине сдвига резонансной частоты кварца в процессе напыления. [11]

Система откачки, схематически изображенная на рис. 1 [1], состояла из двух диффузионных масляных насосов, соединенных последовательно с форвакуумным насосом; между разрядной трубкой, в которой проводились опыты, и диффузионными насосами находилась ловушка, охлаждаемая твердой двуокисью углерода. [12]

На рисунке показан общий вид диффузионной сварочной установки: 1 - ротационный масляный насос; 2 - диффузионный масляный насос; 3 - затворы; 4 - кнопки управления; 5 - сигнальные лампы; 6 - корпус; 7 - вакуумметр; 8 - нажимные стержни; 9 - смотровые окна; 10 - блок гидроцилиндра для создания давления; 11 - вакуумная сварочная камера; 12 - индукторы; 13 - панельные часы; 14 - манометр. [13]

Рабочая камера установки. [14]

Установка ( см. рис. 4 - 3) в основном состоит из герметически плотной рабочей камеры 1, емкости 2 с постоянным уровнем воды ( до 150 л) фор-вакуумного насоса РВН-2 с электромотором 9, диффузионного масляного насоса 10, баллонов с газами 12 для заполнения камеры, а также электропитательной и контрольно-измерительной аппаратуры. [15]

Страницы: 1 2