Cтраница 2
Трехроторный насос позволяет достигнуть удвоенной ( по сравнению с двухроторными насосами) производительности при увеличении габаритов насоса только в 1 5 раза. [16]
Указанный разрыв быстроты действия насосов может быть восполнен с помощью механических бессмазочных двухроторных насосов серии ДВН, обладающих в этой области давления быстротой действия до 5000 л / сек. Однако применение таких насосов дополнительно усложняет схему и обслуживание вакуумных су-шильно-пропиточных установок. [17]
![]() |
Технические характеристики двухроторных насосов. [18] |
На основе первых трех насосов промышленность выпускает вакуумные агрегаты, в которых двухроторные насосы скомпонованы с насосами предварительного разрежения. Обычно быстрота действия насосов предварительного разрежения составляет не менее 1 / 15 быстроты действия двухроторных насосов. Вакуумные агрегаты АВМ-5-2, АВМ-50-1 и АВМ-150-1 имеют примерно в три раза меньший расход энергии и занимают в два-три раза меньшую производственную площадь, чем механические вакуумные насосы с масляным уплотнением той же быстроты действия в области давлений от 100 до 5 Па. Важным положительным моментом является также то обстоятельство, что роторный механизм не требует смазки и поэтому источниками загрязнения откачиваемого объекта парами масла могут быть только вспомогательный форвакуумный насос либо сальники роторных валов. [19]
Для целей нанесения тонких пленок интерес представляют три типа механических насосов: вращательные с масляным уплотнением, двухроторные насосы ( Рутса) и турбомолекулярные насосы. [20]
![]() |
Последовательные положения роторов при работе.| Зависимость быстроты действия двухроторного вакуумного насоса от впускного давления. [21] |
Эти зазоры сравнительно велики ( даже у самых маленьких насосов зазоры немногим меньше 0 1 мм), и если бы двухроторные насосы работали с выхлопом в атмосферу, их предельное остаточное давление составляло бы около Ю4 Па. Поэтому двухроторные насосы имеют на выхлопе форвакуумный насос ( чаще всего механический вакуумный насос с масляным уплотнением), иначе они не способны создать низкие давления. [22]
Сжатие передаваемого газа происходит практически мгновенно от давления рн до давления рвып при сообщении полости, передающей газ, со стороной выпуска двухроторного насоса ( рис. 7.12, верхняя полость), так как в нее устремляется газ со стороны выпуска. Поэтому затрачиваемая двухроторным насосом на выталкивание газа мощность относительно больше, чем она была бы у механического вакуумного насоса с масляным уплотнением, работающего при таких же условиях. Однако этот недостаток при работе в области низких давлений 103 - 10 1 Па несуществен, так как абсолютное значение этой мощности очень мало. Потери мощности в приводе, подшипниках и шестернях связи также невелики, а трение в роторном механизме отсутствует, поэтому у двухро-торных насосов в области давлений менее 6 5 - 1 ( Я Па потребление мощности на единицу быстроты действия ( удельная мощность) значительно меньше, чем у насосов с масляным уплотнением. [23]
С целью повышения скорости откачки двухротор-ных насосов в зоне низких давлений, а также получения более высокого предельного вакуума применяется последовательное соединение двух двухроторных насосов. [24]
![]() |
Агрегат, состоящий из механического вакуумного и двух-роторного насосов. [25] |
Недостижение паспортного предельного остаточного давления обычно связано с течью в системе или во фланцах или с неисправностью форвакуумного насоса, так как течи в двухроторных насосах возникают очень редко ( обычно в результате неудачной переборки насоса), а небольшие случайные задиры роторов мало сказываются на предельном остаточном давлении. [26]
Насосы предварительного вакуума ( иначе форва-куумные насосы) работают при атмосферном давлении и с их помощью может быть достигнут вакуум порядка 10 - 4 - 10 - 2 мм рт. ст. Для достижения высокого вакуума ( до 10-в мм рт. ст.) служат высоковакуумные вращательные насосы ( например, двухроторные насосы Рутса или молекулярные насосы) или пароструйные и диффузионные насосы. [27]
Особую группу составляют двухроторные механические насосы, обладающие большой быстротой действия в области давлений 1ЗЗХ Х10а - 1 33 10 1 Па при сравнительно небольших габаритных размерах. Двухроторные насосы ( Рутса) состоят из двух фигурных роторов ( рис. 181), синхронно вращающихся навстречу друг другу. Лопасти роторов вращаются без соприкосновения друг с другом и стенками корпуса, что позволяет развивать большие скорости вращения роторов. Откачка в таких насосах осуществляется путем захвата и переноса газа от входного патрубка к выходному непрерывно вращающимися лопастями. Неуплотненные зазоры между вращающимися частями не позволяют двухроторным насосам эффективна работать при значительных перепадах давлений, поэтому для получения низких давлений они должны работать в паре с обычными механическими насосами. [28]
Эти зазоры сравнительно велики ( даже у самых маленьких насосов зазоры немногим меньше 0 1 мм), и если бы двухроторные насосы работали с выхлопом в атмосферу, их предельное остаточное давление составляло бы около Ю4 Па. Поэтому двухроторные насосы имеют на выхлопе форвакуумный насос ( чаще всего механический вакуумный насос с масляным уплотнением), иначе они не способны создать низкие давления. [29]
Сжатие передаваемого газа происходит практически мгновенно от давления рн до давления рвып при сообщении полости, передающей газ, со стороной выпуска двухроторного насоса ( рис. 7.12, верхняя полость), так как в нее устремляется газ со стороны выпуска. Поэтому затрачиваемая двухроторным насосом на выталкивание газа мощность относительно больше, чем она была бы у механического вакуумного насоса с масляным уплотнением, работающего при таких же условиях. Однако этот недостаток при работе в области низких давлений 103 - 10 1 Па несуществен, так как абсолютное значение этой мощности очень мало. Потери мощности в приводе, подшипниках и шестернях связи также невелики, а трение в роторном механизме отсутствует, поэтому у двухро-торных насосов в области давлений менее 6 5 - 1 ( Я Па потребление мощности на единицу быстроты действия ( удельная мощность) значительно меньше, чем у насосов с масляным уплотнением. [30]