Магнитный электроразрядный насос
Cтраница 1
 |
Рабочие жидкости для вакуумных насосов. [1] |
Магнитные электроразрядные насосы, обладающие высокой надежностью и долговечностью, являются одним из наиболее современных средств достижения сверхвысокого вакуума. [2]
 |
Схема диодного магнитного электроразрядного насоса с источником питания. [3] |
Схема простейшего диодного магнитного электроразрядного насоса показана на рис. 7.41. Анод / насоса образован из отдельных разрядных ячеек, с открытых концов которых расположены общие катоды 2 из титана. Эта электродная система помещается в магнитное, поле, перпендикулярное плоскости катодов. При подаче на электроды разности потенциалов в несколько киловольт в ячейках возникает газовый разряд, который благодаря магнитному полю поддерживается в широком диапазоне давлений. Положительные ионы газов, образующиеся в разряде при соударении электронов с молекулами, ускоряются электрическим полем в направлении катодов и внедряются в них, вызывая распыление материала катодов. Распыленный с катодов титан осаждается главным образом на аноде. [4]
Во всех отечественных магнитных электроразрядных насосах геометрические размеры ячейки примерно одинаковы и быстрота действия одной ячейки составляет примерно 1 л / с. Поэтому для получения высокой быстроты действия в насосах используется несколько электродных блоков, каждый из которых содержит большое количество ячеек. [5]
 |
Рабочие жидкости для вакуумных насосов. [6] |
В основе работы магнитных электроразрядных насосов лежит спсобность их ячеек откачивать газ при электрическом разряде в них. [7]
 |
Магнитные электроразрядные насосы с охлаждаемыми анодами. [8] |
Поскольку состояние внутренних поверхностей магнитного электроразрядного насоса оказывает решающее влияние на его работоспособность, нельзя допускать попадания в насос загрязнений. При кратковременных вскрытиях на атмосферу вакуумной системы с магнитным электроразрядным насосом желательно заполнять ее осушенным воздухом или азотом для предотвращения попадания в насос влаги; в вакуумных системах, длительное время соприкасающихся с атмосферным воздухом, желательно иметь кран между насосом и системой. Совершенно недопустима предварительная откачка вакуумной системы насосами с масляным уплотнением, не защищенными надежной ловушкой, так как это приводит к загрязнению вакуумной системы и магнитного электроразрядного насоса углеводородами. [9]
Состав остаточных газов в хорошо обезгаженной системе, откачиваемой магнитным электроразрядным насосом, состоит из обычно присутствующих во всех вакуумных системах водорода, азота, окиси углерода, аргона и метана. [10]
В отличие от ионно-геттерных насосов с термическим испарением титана в магнитных электроразрядных насосах для получения активных пленок и для ионизации газов используются разряд в магнитном поле и вызванное им катодное распыление титана. [11]
Простота устройства и возможность работы в любом положении также выгодно отличают магнитные электроразрядные насосы от других. [12]
В настоящей главе рассматриваются наиболее распространенные сорбционные насосы, в которых сорбция газов осуществляется пленками испаряемых химически активных металлов-геттеров. Это испарительные геттерныел магнитные электроразрядные насосы. [13]
Для этого в работающий магнитный электроразрядный насос через натекатель впускается до давления 5 - 10 - - 5 Па аргон, одновременно откачиваемый вспомогательным насосом. Интенсивное ионное распыление при аргонной обработке создает на электродах свеженапыленные слои титана, не содержащие сорбированных газов, одновременно происходит обезгаживание насоса прогревом энергией, выделяющейся на электродах. После аргонной обработки насос быстро достигает низких давлений. Следует иметь в виду, что длительная работа насоса при высоких давлениях ( порядка 1 - 10 - Па) создает условия для попадания проводящего слоя титана на изоляторы и приводит к замыканиям в электродной системе. [14]
Как отмечалось, недостатком магниторазрядных насосов является длительный период пуска. Кроме того, неохлаждаемые диодные магнитные электроразрядные насосы не могут длительно работать при давлениях больше 10 - 3 Па из-за перегрева электродов. [15]
Страницы: 1 2