Турбомолекулярный насос

Cтраница 2

Характеристики некоторых типов насосов вакуумных систем. [16]

Некоторые модели турбомолекулярных насосов не требуют предварительного разрежения механическим насосом. [17]

Принцип действия турбомолекулярного насоса основан на сообщении молекулам разреженного газа направленной дополнительной скорости быстро движущейся твердой поверхностью. [18]

При эксплуатации турбомолекулярных насосов необходимо контролировать поступление масла к подшипникам ( для чего в насосе предусмотрены смотровые окна) и отсутствие шумов, появление которых свидетельствует об износе подшипников. Недопустима длительная выдержка остановленного турбомолекулярного насоса под форвакуумным давлением ( ниже Ю Па), так как при этом пары масла могут проникнуть со стороны форвакуума через роторный механизм на сторону высокого вакуума. Остановленный турбомолекулярный насос должен быть заполнен осушенным воздухом или азотом до атмосферного давления через кран, имеющийся в форвакуумном патрубке насоса. [19]

Проточная часть турбомолекулярного насоса состоит из чередующихся между собой ста торных 6 и роторных 7 дисков. [20]

При всех преимуществах турбомолекулярных насосов их единственным недостатком является высокая стоимость. [21]

Поэтому для работы турбомолекулярного насоса рекомендуется предварительное разрежение до 10-а мм рт. ст. Однако насос не выйдет из строя при непрерывной работе, например, при 0 3 мм рт ст. и может выдерживать кратковременное повышение давления до атмосферного. Предельные возможности турбомолекулярных насосов, по-видимому, полнос / ью не реализованы. Несмотря на то, что статор и ротор не нуждаются в смазке, однако масло используется здесь в подшипниках вала турбины. Поэтому возможность попадания в вакуумную камеру паров органически не исключена. По данным Миллерокса [23] поток проникающих через впускноз отверстие молекул масла составляет приблизительно 10 в секунду. [22]

Приводятся примеры применения турбомолекулярных насосов в ускорителях частиц. [23]

В схеме с турбомолекулярным насосом 7 ( рис. 7.53, б) установка ловушки не требуется. [24]

Легкие газы хуже откачиваются турбомолекулярным насосом, так как у них больше тепловые скорости. [25]

Быстрота откачки насоса Fp ( в процентах от максимальной быстроты откачки в зависимости от давления р у впускного патрубка, для различных типов насосов (. F / p - характери. [26]

Рутса ( одноступенчатый); 4 - турбомолекулярный насос; 5 - масляный пароструйный насос; 6 - Hg-диф-фузионный насос ( многоступенчатый); 7 - ионный насос с накаливаемым катодом; 8 - масляный диффузионный насос. [27]

Спектр остаточных газов в турбомолекулярном насосе. [28]

На рис. 7.33 показана зависимость быстроты действия турбомолекулярного насоса ( 5Н200 л / с) от впускного давления. Как видно, быстрота действия остается постоянной в широком диапазоне давлений - от 10 - Па, когда начинает сказываться изменение режима течения газа через диски насоса, до Ю-6 Па, когда на быстроту действия оказывает влияние водород, выделяющийся из стенок насоса и перетекающий со стороны форвакуум-ной полости насоса. [29]

Небольшое количество паров масла, попавшее на вход турбомолекулярного насоса, обычно легко удаляется прогревом корпуса в области впускного патрубка до 100 - 120 С при работающем турбомолекулярном насосе. [30]

Страницы: 1 2 3 4