Cтраница 5
Что касается средств, применяемых для создания вакуума в установках напыления, то в случае их периодической работы важно получить предельное давление в системе возможно быстрее. Нужно также периодически работающую установку конструировать так, чтобы ее можно было быстро и удобно прогреть. В некоторых случаях целесообразно применение геттерного насоса, так как при нагреве испарителей во время напыления выделяется дополнительное количество газа, которое может вызвать нежелательное повышение давления. До начала напыления внутреннюю поверхность установки покрывают слоем титана, который в процессе напыления и служит геттерным насосом. По некоторым данным, для таких установок не всегда целесообразно применение геттерно-ионных насосов, а наилучшими средствами откачки считают диффузионные насосы с лабиринтными отражателями или молекулярные насосы. Возможно также применение конденсационных насосов. [61]
Принцип действия турбомолекулирного насоса основан на простом физическом явлении; частица, столкнувшаяся со значительно более тяжелым движущимся объектом, получает после столкновения дополнительный импульс в направлении движения этого объекта. Полный импульс частицы при этом, естественно, складывается из обычной термической составляющей и импульса, полученного при столкновении. Если в качестве массивного объекта выступают стенки сосуда и давление настолько мало, что течение газа носит молекулярный характер, то столкнонсния молекул со стенкой будут происходить гораздо чаще, чем столкновения молекул друг с другом. Действие турбомолекулярного насоса сводится именно к такому увлечению газоного патока в направлении движения стенки. Современные турбомолекуляр-ныс насосы состоят из набора роторон ( играющих роль турбин) и статоров, ориентированных таким образом, что они соответствуют зеркальным отражениям роторов. Каждая отдельная лопасть ротора работает в качестве молекулярного насоса и, несмотря на то что эффективность каждой отдельной лопасти мала ( из-за обратной диффузии между ротором и кожухом), современные насосы этого типа, состоящие из более чем 20 роторов, способны создавать вакуум глубиной более 10 10 торр. Турбомолекулярные насосы используются обязательно совместно с форвакуумными насосами, доводящими давление в системе до 10 2 торр, после чего работа турбомолекулярною насоса становится достаточно эффективной. [62]
И далее профессор Гроот пишет, что Стенбек, Циппе и Шеффель использовали в своей центрифуге тонкостенный ротор, вращающийся на тонкой подвижной игле, которая движется в омываемой маслом полусфере, установленной на металлической плите. Плита имеет эластичную центровку и снабжена гидроамортизатором. В верхнем конце ротора находится магнитное устройство для удержания ротора в вертикальном положении. Подвод газа осуществляется через неподвижную трубку, а отвод-с помощью двух отборных систем на верхнем и нижнем концах ротора. Центрифуга приводится в движение с помощью синхронного электродвигателя. Молекулярные насосы препятствуют попаданию в вакуумное пространство газа. [63]