Цеолитовый насос
Cтраница 2
Течеискатель СТИ-11 создан и унифицирован на базе ПТИ-10, но отличается наличием цеолитового насоса, обеспечивающего режим избирательного накопления гелия. [16]
Для создания разрежения порядка 1СГ4 мм рт. ст. система откачивается предварительно водоструйным насосом до давления, близкого к его предельному вакууму, а затем цеолитовым насосом, на который надевается сосуд Дьюара с жидким азотом. После насыщения цеолита поглощенными газами в первом насосе вентиль на этом насосе закрывается и меняются местами сосуд Дьюара и электронагреватель. Такая схема работы обеспечивает непрерывность действия агрегатов. При необходимости получения в системе давлений 10 - 2 мм рт. ст. откачка производится только цео-литовыми насосами без использования водоструйного насоса. [18]
К вентилю 8 подсоединяется механический насос для удаления газов при регенерации цеолитовых насосов. Регенерация цеолитовых насосов проводится при температуре 450 - 500 С. [19]
ЦВА-1-2 кроме цеолитовых насосов, работающих попеременно для обеспечения непрерывности действия, применен водоструйный насос для предварительного удаления из откачиваемого объема основного количества газа. Комбинация водоструйного и двух цеолитовых насосов позвол яет откачивать большое количество газов и получать высокий вакуум, свободный от углеводородов. Основным конструкционным материалом насосов и арматуры является коррозионностойкая сталь. [20]
Процессы разделения происходят при высоком вакууме в анализаторе, полученном и поддерживаемом в течеиска-телях типа ПТИ с помощью пароструйного насоса. В схему СТИ дополнительно включается цеолитовый насос. [21]
С этой целью в настоящей работе проведено испарение тантала из эффу-зионной камеры в тщательно обезвоженной установке с дополнительным цеолитовым насосом при общем давлении остаточных газов 10 - 7 торр. [22]
Агрегаты ЦВА-01-1 и ЦВА-1-1 предназначены для откачки воздуха из объемов соответственно до 10 и 100 л от атмосферного давления до 10 - 2 мм рт. ст. Агрегаты ЦВА-01-2 и ЦВА-1-2 предназначены для откачки тех же объемов от атмосферного давления до 10 4 мм рт. ст. В этих двух последних агрегатах для предварительной откачки используется водоструйный насос ВВН-2-1. В том случае, если в системе достаточно получить давление 10 - 2 мм рт. ст. откачка производится цеолитовыми насосами без использования водоструйного насоса. [23]
При последовательной откачке разрежаемого объема несколькими адсорбционными насосами удается получить предельное разрежение 1Q - 6 мм рт. ст. и ниже. При этом следует иметь в виду, что если вышеуказанные сорбенты жадно поглощают основные компоненты воздуха и водяной пар, то инертные газы поглощаются им значительно хуже. В связи с этим относительное содержание инертных газов ( в особенности аргона) в объеме, откачиваемом цеолитовым насосом, заметно повышается. Что касается водорода и гелия ( имеющих очень низкую точку кипения), то охлаждаемый жидким азотом адсорбционный насос их вообще не поглощает. [24]
Следует отметить, что даже при использовании для подкачки диффузионного масляного насоса в откачиваемом Объеме полностью отсутствуют следы рабочего масла или продукты его разложения. Это объясняется термическим разложением паров масла в полости геттерно-ионного насоса с последующим поглощением продуктов разложения. Часто для предварительной откачки насоса до давления 10 - 3 - 10 - 4 мм рт. ст. применяют адсорбционные цеолитовые насосы. Например, на базе геттерно-ионного насоса ГИН-05М1 и двух цеолитовых адсорбционных насосов создан безмасляный вакуумный ионно-геттерный агрегат ВЙГА-500-1. Для откачки генераторных и модуляторных приборов последовательно устанавливают геттерно-ионный насос, диффузионный насос Н1С2 и Механический насос ВН-416М. [25]
Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель СТИ-8 предназначен для высокочувствительной проверки герметичности систем с малым газоотделением. Вакуумная система течеискателя выполнена на металлических уплотнениях. В течеискателе возможны два режима проверки герметичности: режим предварительных испытаний с откачкой пароструйным насосом и режим высокочувствительных испытаний при откачке цеолитовым насосом. Минимальная течь, обнаруживаемая течеискателем в режиме высокочувствительных испытаний, составляет от 5 - Ю 10 до 5 - Ю 11 л-мкм рт. ст. / с при подаче гелия соответственно от 1 до 10 мин. Выбор гелия в качестве пробного газа объясняется почти полным его отсутствием в окружающей атмосфере и среди газов, выделяемых стенками вакуумной аппаратуры, а также хорошим проникновением его даже в самые незначительные течи. [26]
Для улучшения предельного вакуума, создаваемого цеолитовыми агрегатами, промывают вакуумную систему газом, хорошо поглощаемым цеолитом, например сухим азотом. В этом случае парциальное давление неона и гелия уменьшается. Это затрудняет поиск течей в вакуумной системе с помощью гелиевых тече-искателей, так как парциальное давление гелия при откачке системы цеолитовым насосом быстро возрастает. [27]
Отверстия прожигаются лучом лазера в диске толщиной 200 мкм. На одну сторону диска наносится пленка исследуемого вещества, которая проходит затем необходимую термообработку. Через испытуемую пленку гелий диффундирует в высоковакуумную часть установки. Предварительно производится откачка паромасляным насосом 6 до давления 10 - 6 мм рт. ст. Далее краном 5 диффузионный насос отсоединяется и последующая откачка ведется цеолитовым адсорбционным насосом 4, охлаждаемым жидким азотом. Цеолитовый насос, практически не поглощая гелий, позволяет поддерживать вакуум 10 - 6 мм рт. ст. и одновременно допускает накопление гелия в системе. Омега-тронный датчик парциальных давлений 2 регистрирует в системе давление гелия. Именно в этом и состоит преимущество использования омегатрона в такой схеме: измеряется не общее повышение давления в системе, а только изменение, обусловленное присутствием гелия. [28]
Для уменьшения гаоаритов оборудования в карусельных откачных полуавтоматах вместе с обрабатываемым прибором перемещаются только диффузионные насосы, соединенные золотниками с неподвижными многокамерными механическими насосами. При откачке крупногабаритных приборов используется прямоточная вакуумная система в виде автономной ячейки, состоящей из двух насосов, откачной машины или конвейерной линии. Аналогичная система применяется на стационарных откачных постах. С целью получения сверхвысокого вакуума и исключения попадания масла применяется безмасляная система откачки, металлические штенгели и ряддругих мер. Вакуумный безмасляный агрегат состоит из электроразрядного ( гетероионного) насоса типа НЭМ или ГИН, сорбционных цеолитовых насосов, переключаемых с помощью электромагнитных вентилей. Для достижения лучшего вакуума применяется прогрев откачиваемой лампы с применением вакуумной печи - вакуум в вакууме, а вся вакуумная система выполнена металлической и также прогревается. Отпайка осуществляется с помощью медного штенгеля методом холодной сварки. Для улучшения вакуума, как уже указывалось, применяется дополнительная химическая откачка путем двойного ( частичного) распыления газопоглотителя или дополнительная откачка во время тренировки с помощью малогабаритного электроразрядного насоса, присоединяемого на дополнительном металлическом штен-геле. [29]
Авторы [18] предлагают метод определения водорода в гидриде титана, основанный на термическом разложении исследуемого образца гидрида, десорбции водорода из цеолитов и его измерении. Разложение проводят в вакууме при непрерывной откачке водорода цеолнтовыми насосами при - 196 С. Сорбциоиная способность применяемых цеолита 4А и активированных углей СКТ, БАУ была установлена на основании снятых изотерм адсорбции водорода при температуре жидкого азота. В предварительно прокаленный кварцевый стаканчик берут навеску гидрида титана 0 3 - 0 5 г и помещают в реакционную пробирку, подсоединяемую к установке. После достижения в системе вакуума 3 - Ю-3 мм рт. ст. замеряют нулевой уровень ртути в манометре, цеолитовые насосы погружают в сосуд Дьюара с жидким азотом и на реакционную пробирку надвигают печь при рабочей температуре 1000 С. [30]
Страницы: 1 2 3