Магнитно-электроразрядный насос

Cтраница 1

Магнитно-электроразрядный насос представляет собой двухэлектродный разрядный прибор с титановым катодом. Анод имеет вид цилиндра, находящегося между двумя пластинками катода. Вся система электродов находится в магнитном поле, параллельном оси анода. Магнитное поле превращает траектории электронов, летящих от катода к аноду, в спирали, что удлиняет путь электрона и, повышает вероятность ионизации молекул откачиваемого газа. При разряде материал катода, подвергающийся ионной бомбардировке, распыляется и титановая пленка служит геттером, связывающим молекулы откачиваемого газа. [1]

Простейший магнитно-электроразрядный насос ( рис. 2 - 13) состоит из двух плоских катодных пластин /, изготовленных из технического титана. Между катодными пластинами расположен анод 2 в виде кольца или рамки. Корпус насоса изготовлен из нержавеющей немагнитной стали и помещен между полюсами постоянного магнита с напряженностью поля в несколько сотен эрстед. [2]

При использовании для предварительной откачки механических масляных насосов внутри магнитно-электроразрядного насоса могут постепенно скапливаться углеводороды. [3]

Простейший магнитно-электроразрядный насос. [4]

На рис. 2 - 14 показана зависимость скорости откачки и производительности магнитно-электроразрядного насоса от давления в откачиваемом объеме. Как видно из приведенных кривых, скорость откачки насоса практически постоянна в диапазоне давлений от 5 - 1Q - 8 до 5 - 10 - 6 мм, рт. ст., снижаясь как при уменьшении, так и при увеличении давления. Так, например, при давлении 10 - 4 мм рт. ст. скорость откачки составляет 40 % от номинальной, а при давлении 10 - 3 мм рт. ст. снижается до нескольких процентов. [5]

Кривые откачки непрогреваемой напылительной установки с помощью магнитного электроразрядного и титанового испарительного насосов. [6]

Штриховая кривая соответствует процессу откачки после одночасовой выдержки как рабочего объема, так и магнитно-электроразрядного насоса при атмосферном давлении. [7]

Если же в него был напущен атмосферный воздух, то после двухчасовой откачки не удается получить давление ниже 1 Ю-5 мм рт. ст. Отсюда очевидно, что магнитно-электроразрядные насосы целесообразно применять в качестве основного откачного средства только в высокова-куумных и сверхвысоковакуумных прогреваемых напы-лительных установках лабораторного типа, где длительность технологического цикла не имеет первостепенного значения и где в процессе запуска установки допустим ее длительный прогрев. [8]

В работе делается вывод, что при больших или сильно меняющихся нагрузках ( которые, кстати, обычно имеют место при очередном разогреве напыляемого вещества) следует избегать применения магнитно-электроразрядных насосов в качестве основного откачного средства. В отличие от паромасляного насоса [ ( кривая 2), имеющего постоянную быстроту действия вплоть до давления 1 10 - 3 мм рт. ст., магнитный электроразрядный насос ( кривая 4) снижает свою быстроту действия уже при давлении ( 3 - 5) ICh6 мм рт. ст. По этой причине при резких газовыделениях магнитно-электроразрядные насосы, не обладающие достаточно большой быстротой действия, могут захлебываться, и потребуется длительное время для восстановления в откачиваемом объеме рабочего вакуума. Резкое снижение быстроты действия при увеличении давления, длительный пусковой период ( несколько часов), высокая селективность при откачке газовой смеси, большие габариты, вес и высокая стоимость существенно ограничивают применение магнитно-электроразрядных насосов в напылительных установках промышленного типа. [9]

Следует отметить, что за последние годы все чаще начинают встречаться описания комбинаций различных откачных средств, целью которых является увеличение скорости откачки, расширение диапазона рабочих давлений и снижение времени, необходимого для получения сверхвысокого вакуума. Так, например, установлено, что быстрота действия геттерно-ионного насоса значительно возрастает, если параллельно к нему подсоединить небольшой магнитно-электроразрядный насос. Интерес представляет также комбинация магнитно-электроразрядного насоса с криогенным насосом, охлаждаемым жидким азотом. [10]

Насос очень чувствителен к попаданию паров масел, используемых в механических и пароструйных насосах. Поэтому лучше всего для предварительной откачки применять угольные или цеолитовые адсорбционные насосы, охлаждаемые жидким азотом. Наименьшее предельное разрежение получается при последовательном включении двух магнитно-электроразрядных насосов и их длительном прогреве. Существенную роль при этом играет так называемая аргонная обработка, заключающаяся в том, что в предварительно откаченный до ДО-4 мм рт. ст. и нагретый до 200 С насос напускается аргон. Через 24 ч после обработки аргоном давление в насосе снижается до 10 - 10 мм рт. ст. и продолжает медленно понижаться, достигая через несколько недель своего предельного значения ДО-11 мм рт. ст. Следует иметь в виду, что аргонная обработка полезна также для увеличения быстроты откачки насоса в диапазоне давлений 10 - 8 - 10 - 9 мм рт. ст., который обычно определяет нижний предел работы магнитно-электроразрядных насосов при их промышленном применении. [13]

Страницы: 1