Cтраница 5
Перед криогенными насосами устанавливаются высокопроизводительные тур-бомолекулярные или диффузионные паромасляные насосы, используемые для создания предварительного разрежения. Принцип работы криогенного насоса основан на конденсации паров и газов на охлаждаемой поверхности. [61]
Паромасляный диффузионный насос с воздушным охлаждением. [62] |
Проведенное рассмотрение показывает, что основные характеристики паромасляных насосов ( диффузионных и бустерных) определяются как конструкцией насоса, так и родом рабочей жидкости. [63]
Современная конструкция сверхвысоковакуум-ного паромасляного насоса. [64] |
На рис. 2 - 8 показан разрез современного сверхвысо-ковакуумного паромасляного насоса. Верхняя часть корпуса / насоса, изготовленного из нержавеющей стали, имеет бочкообразную форму, благодаря чему скорость откачки насоса примерно на 30 % больше, чем у насосов с цилиндрической формой корпуса. Гребенчатая форма внутренней плиты 2 кипятильника обеспечивает интенсивный теплообмен и поддерживает постоянство температуры рабочей жидкости. Разгоночные канавки в нагреваемом днище кипятильника в сочетании со специально подобранной формой паропровода 3 эффективно разделяют пары рабочей жидкости на фракции. [65]
Очевидно, что для работы следует выбрать такой паромасляный насос, максимальное давление или, лучше, оптимальные пределы давления которого перекрывают рабочее давление в вакуумном перегонном приборе. Как можно заключить из предыдущих рассуждений, при выборе необходимо знать три величины, определяющие относительную характеристику вакуумного насоса. [66]
Внешний вид испарительного крионасоса.| Схема откачной системы с испарительным крио-насосом. [67] |
Сбоку к камере подсоединяется вспомогательная вакуумная система с паромасляным насосом 6, ловушкой 7 и затвором 8, предназначенная для откачки неко нденсируемых газов, а также для предварительной откачки камеры. [68]