Геттерной насос

Cтраница 1

Принципиальная схема установки ( а и измерительная ячейка ( б для определения газопроницаемости покрытий ( по гелию. [1]

Геттерные насосы не откачивают все инертные газы, так как последние не вступают в химическую связь с металлами. Адсорбционные насосы откачивают все газы, в том числе и инертные, кроме гелия, имеющего очень малый диаметр молекул. [2]

Основным элементом геттерных насосов является испаритель. Испарение из твердой фазы обеспечивает более мелкодисперсное распыление геттера и, следовательно, более полное его использование. [3]

При использовании геттерных насосов желательно обеспечивать безмасляную предварительную откачку сосуда до давления менее 10 1 Па с помощью адсорбционных насосов или паромасляных диффузионных насосов с эффективными ловушками. Не следует допускать чрезмерно длительной откачки сосуда механическим насосом с масляным уплотнением из-за возможного загрязнения сосуда углеводородами. [4]

Так же, как и диффузионные, геттерные насосы работают во всей области давлений от высокого до сверхвысокого вакуума. Но по сравнению с первыми они имеют преимущество, заключающееся в отсутствии в них какой-либо органики, поскольку для их работы не требуется смазка и не используются никакие другие пары рабочих жидкостей, кроме паров конденсируемого металла. Геттерные насосы требуют предварительной откачки до давлений 10 - 2 - 10 - 4 мм рт. ст., но не для непрерывного поддерживания рабочего режима, а лишь для запуска. Такой форвакуум может быть получен с помощью либо криосорб-ционного, либо вращательного масляного насосов, которые сразу же отключаются по достижении требуемого исходного вакуума. Откачивающее действие геттерных насосов основано на двух типах взаимодействия остаточных газов с металлическими поверхностями, один из которых имеет химическую природу, а другой - электростатическую. Аппараты, использующие одновременно оба эти механизма, называют геттероионными насосами. [5]

Состав остаточных газов в ионно-геттерном насосе. [6]

Таким образом, так же как и в геттерных насосах, химически активные газы поглощаются пленкой титана, непрерывно наносимой на внутреннюю поверхность корпуса насоса, а откачка инертных газов осуществляется путем ионизации и последующего внедрения ионов в пленку геттера. [7]

Насосы, работа которых основана на этом принципе, называются геттерными насосами. Используемые в них газопоглотители могут быть разбиты на три класса. Это, во-первых, геттеры, основанные на физической адсорбции остаточных газов охлажденным твердым телом с развитой поверхностью, например активированным древесным углем, гелем кремневой кислоты, цеолитами; во-вторых - геттеры, поглощающие газ подобно тому, как водород поглощается палладиевой чернью или танталом; в-третьих - геттеры, образующие химическое соединение с поглощаемым газом. Для придания металлам большой поверхности их напыляют в вакууме на внутреннюю поверхность поглотительного сосуда. [8]

Зг ( рис. 111) до давления 10 - 2 мм рт. ст., а затем геттерным насосом через затвор За до 10 - 5 мм рт. ст. Для проведения соответствующей термической обработки образец электромагнитом поднимают в печь. Температуру печи устанавливают терморегулятором. При каждой температуре обработки откачку производят в течение 4 - 6 ч при давлении в системе порядка 10 - 5 мм рт. ст. Перед съемкой спектра образец охлаждают до комнатной температуры. [9]

После проведения адсорбции ампулу закрывают и производят съемку спектра. Для удаления газовой фазы и адсорбированных молекул соединяют кюветы с геттерным насосом, охлажденным жидким азотом. [10]

Па), который способствует лучшей фокусировке пучка, уменьшению дозы нейтральных атомов и загрязнения поверхности образцов. Откачку производят диффузионными насосами, турбомолекулярными насосами с соответствующими форвакуумными насосами, геттерным насосом, создающим форвакуум для сорбционных насосов. Тип насоса выбирают с учетом состава и количества газа, а также необходимости получения безмасляного вакуума. [11]

Установка ESHW2 - А1500 для полунепрерывного вакуумного покрытия фирмы Ульвак ( Япония. [13]

Что касается средств, применяемых для создания вакуума в установках напыления, то в случае их периодической работы важно получить предельное давление в системе возможно быстрее. Нужно также периодически работающую установку конструировать так, чтобы ее можно было быстро и удобно прогреть. В некоторых случаях целесообразно применение геттерного насоса, так как при нагреве испарителей во время напыления выделяется дополнительное количество газа, которое может вызвать нежелательное повышение давления. До начала напыления внутреннюю поверхность установки покрывают слоем титана, который в процессе напыления и служит геттерным насосом. По некоторым данным, для таких установок не всегда целесообразно применение геттерно-ионных насосов, а наилучшими средствами откачки считают диффузионные насосы с лабиринтными отражателями или молекулярные насосы. Возможно также применение конденсационных насосов. [14]

Электрические изоляторы выполнены из кварца или нитрида бора. Откачка камеры производится паромас-ляным насосом с азотной ловушкой и титановым геттерным насосом со скоростью откачки 103 м3 / с. Для уменьшения влияния газовыделения от испарителя применялся экран 3, охлаждаемый жид-тшм азотом. [15]

Страницы: 1 2