Cтраница 1
Испарительные геттерные насосы относятся к сорб-ционным насосам, в которых, поглощение газов осуществляется за счет физической адсорбции, хемосорб-ции, химических реакций и растворения газов в пленке металлического геттера, создаваемой методом термического испарения. В качестве геттера в таких насосах может быть, вообще говоря, использован любой активный металл, применяемый для распыляемых геттеров в электровакуумных приборах; однако из условий эксплуатационного удобства в промышленных насосах применяется пока только титан. [1]
В испарительных геттерных насосах в качестве поглотителей могут быть использованы многие химически активные металлы. [2]
Принцип действия испарительных геттерных насосов основан на физическом и химическом связывании газов на поверхности и в объеме активных веществ - геттеров. В качестве геттеров могут быть использованы пленки титана, бария, циркония и других химически активных металлов. Обновление пленок производят путем термического испарения соответствующего металла и последующего осаждения его на охлаждаемой поверхности стенок корпуса насоса или на специальные металлические листы, поме щенные в вакуумной камере. [3]
Нижний предел рабочвсо давления испарительных геттерных насосов определяется в основном чистотой используемого геттер-ного материала, равновесным давлением газов над поверхностью сорбирующей пленки активного металла и эффективностью связывания или отвода из насоса трудносорбируемых инертных газов и углеводородов. [4]
Отечественной промышленностью выпускается целая серия испарительных геттерных насосов различных типов. [5]
Сверхвысоковакуумный орбитронный насос СОН-А-1 также является разновидностью испарительных геттерных насосов. В нем, вследствие создания условий для более эффективной ионизации остаточных газов, наряду с низкотемпературным охлаждением жидким азотом повышена быстрота откачки инертных газов. [6]
С этой же целью в ряде конструкций устанавливают в рабочей камере дополнительные титановые испарительные геттерные насосы или криосорбционные асосы, охлаждаемые жидким гелием. [7]
В [1, 24] концепция оптимизации впервые получила количественное обоснование в приложении к испарительным геттерным насосам; сформулированный на этой основе в работе [102] критерий оптимизации состоит в требовании подобия функций пространственного распределения потоков газа и геттера по всей площади сорбирующих поверхностей. Наконец, в работе [100], подробно излагаемой в следующем параграфе, сделана попытка сформулировать общие принципы оптимизации НПД, предложена обобщенная математическая модель таких насосов и построена системна соответствующих критериев. [8]
Механизм откачки отдельных газов в магниторазрядных насосах во многом сходен с механизмом, определяющим работу испарительных геттерных насосов. Однако интенсивная ионизация и диссоциация молекул откачиваемого газа в газовом разряде делают ма гниторазрядный насос более эффективным средством откачки инертных газов, углеводородов и других сложных молекул. [9]
Однако для этого требуется, чтобы геттер, обычно титан, содержал минимальные количества углерода и растворенных газов, особенно водорода. Так как в насосах откачиваемый газ удерживается внутри насоса, то для них в принципе не требуется постоянно действующая вспомогательная система форвакуумной откачки. Необходимо лишь создать предварительное разрежение до давления запуска, при котором возможна работа испарителя. Другими достоинствами испарительных геттерных насосов является их бесшумность в работе, отсутствие вибрации, возможность для большинства конструкций работать при любой ориентации. [10]
Наиболее широко в адсорбционных насосах для охлаждения сорбента используется жидкий азот. Он является наиболее до - ступным, дешевым и удобным в обращении хладагентом. Однако охлаждение адсорбентов до температуры 77К явно недостаточно, чтобы эффективно поглощать такие газы, как водород, неон и гелий. С целью уменьшения парциального давления этих газов вакуумные системы перед включением в работу адсорбционных насосов либо промывают сухим азотом, практически свободным от указанных выше плохоадсорбируемых газов, вытесняя таким образом воздух, либо предварительно вакуумируют, например механическими насосами. В том случае, когда в процессе откачки системы адсорбционным насосом возможно большое газоотделение водорода, его поглощение может быть осуществлено испарительным геттерным насосом. [11]