Нитрид - вольфрам
Cтраница 1
Нитрид вольфрама, W2N3 ( теоретически получаемый действием газообразного NH3 на WOC14 или WC1G на холоду), вряд ли существует. [1]
Нитрид вольфрама получают так же, как и нитрид молибдена, по при более высокой температуре - 800 - 1000 С. Нитрид вольфрама WN - порошок серого цвета, на воздухе устойчив. [2]
Нитриды вольфрама, молибдена и хрома отличаются высокой твердостью и используются для упрочения поверхностей других металлов, однако присутствие азота в них сильно снижает их пластические свойства. [3]
 |
Гексагональные сетки в структуре e - TaN. [4] |
Нитриды вольфрама построены из слоев атомов W и N. Нетипично, однако, то, что слои атомов W могут быть сильно дефектны. Некоторые из слоев атомов азота также несовершенны. В 6нУ - и бк-фазах атомы N образуют нецентрированные шестиугольники; каждый атом принадлежит трем шестиугольникам. В б - фазе слои N слегка изогнуты. [5]
Пленки нитридов вольфрама ( WNx), карбидов вольфрама ( WCx) и карбонитридов вольфрама ( WCxNy) используются в качестве барьерных слоев в системах металлизации на основе меди для микросхем с уровнем технологии ( УТ) 130 нм и меньше. Они предотвращают диффузию атомов меди в слои оксида кремния, поликремния и монокремния. [6]
При взаимодействии гексахлорида вольфрама с аммиаком образуется нитрид вольфрама. [7]
При таких условиях обеспечивается скорость осаждения Vd пленок нитрида вольфрама в диапазоне 60 - 160 нм / мин. [8]
Обычные вольфрамовые электроды при данном способе сварки не применяются, так как нитриды вольфрама, образующиеся на поверхности электрода при горении дуги, легкоплавки, что увеличивает расход электродов. Во избежание этого пользуются ториро-ванными вольфрамовыми электродами, содержащими 1 % окиси тория. Азотно-дуговую сварку меди выполняют с применением присадочной проволоки из меди марки Ml, на которую наносится тонкое покрытие из раскислптелкй в виде смесей из древесного угля. [9]
Обычно вольфрамовые электроды при данном способе сварки не применяют, так как нитриды вольфрама, образующиеся на поверхности электрода при горении дуги, легкоплавки, что увеличивает расход электродов. Во избежание этого пользуются торированными вольфрамовыми электродами, содержащими 1 % окиси тория. Азотно-дуговую сварку меди выполняют с применением присадочной проволоки из меди марки Ml, на которую наносят тонкое покрытие из раскислителей в виде смесей из древесного угля, феррофосфора, алюминиевого порошка, ферросилиция и ферромарганца. [10]
Обычные вольфрамовые электроды при данном способе сварки не применяются, так как нитриды вольфрама, образующиеся на поверхности электрода при горении дуги, легкоплавки, что увеличивает расход электродов. Во избежание этого пользуются ториро-ванными вольфрамовыми электродами, содержащими 1 % окиси тория. Азотно-дуговую сварку меди выполняют с применением присадочной проволоки из меди марки Ml, на которую наносится тонкое покрытие из раекислителей в виде смесей из древесного угля, феррофосфора, алюминиевого порошка, ферросилиция и ферромарганца. [11]
При использовании азота нецелесообразно применять вольфрамовые электроды, так как образующиеся яа их поверхности нитриды вольфрама легкоплавки и расход вольфрама резко возрастает. Лучшим электродом является угольный или графитовый. Для сварки применяется дуга постоянного тока прямой полярности. [12]
 |
Фазовая диаграмма тройной системы ниобий - тантал - углерод. [13] |
Кроме вышеназванных фаз, при азотировании в аммиаке тонких пленок вольфрама был получен ряд других нитридов вольфрама. [14]
При азотно-дуговой сварке электродами служат угольные или графитные стержни, применять вольфрамовые стержни нецелесообразно, так как образующиеся на их поверхности нитриды вольфрама легкоплавки, вследствие чего расход вольфрама резко возрастает. При азотно-дуговой сварке угольным электродом напряжение дуги должно быть 22 - 30 В. Сварку выполняют постоянным током прямой полярности, диаметр угольного электрода 6 - 8 мм при токе 150 - 500 А. Расход азота составляет 3 - 10 л / мин. Установка для сварки в азоте аналогична установке для сварки в аргоне. Горелка должна иметь специальные сменные наконечники для закрепления угольных стержней. [15]
Страницы: 1 2