Обезгаживание - прибор
Cтраница 1
Обезгаживание приборов осуществляется в вакуумной технологической камере ( рис. 186, а), нагрев которой рассчитан на создание в рабочем объеме температуры 700 С. Внутренняя обращенная в вакумный объем поверхность камеры металлизирована алюминиевым сплавом АМЦ толщиной 0 2 мм. Такая конструкция технологических камер в откачных постах имеет ряд преимуществ, основные из которых: простота и экономичность, равномерный нагрев прибора, улучшение условий загрузки и проверки герметичности прибора, легкий доступ к механизмам, вакуумным вводам и элементам конструкции, расположенным внутри камеры. [1]
В процессе обезгаживания прибора наибольшее количество га: зов и паров выделяется различными покрытиями, нанесенными на узлы прибора. Следует учесть, что аквадаговое и люминофорное покрытия, а также стеклооболочка выделяют в основном водяные пары, электронно-оптическая система - водород, а оксидное покрытие - углеродсодержащие соединения. [2]
ZrHU, который при обезгаживании прибора полностью разлагается, образуя чистый металлический цирконий. Массивные железные аноды ( см., например, рис. 5 - 3 - 4), которые без покрытия цирконием из-за значительного выделения газов были совершенно непригодны для вакуумной техники, после покрытия порошкообразным цирконием могут быть использованы226 для небольших генераторных ламп. Обычно все же отдают предпочтение применению тугоплавких металлов в качестве основы для покрытия порошком Zr, так как это-делает возможным удаление газов из циркония при откачке. Более подробно о методах нанесения ( пульверизация и катафорез), о наиболее выгодных температурах газопоглощения, а также о количественных значениях абсорбции различных газов см. гл. [4]
Электронографическое исследование подвергнутых спеканию пленок, полученных после тщательного обезгаживания прибора, не показало наличия линий закиси никеля, хотя это, согласно предположению де Бура, не безусловно свидетельствует об отсутствии закиси никеля. Выдерживание этих пленок в атмосфере кислорода приводит к полному отравлению поверхности, и это также указывает, что окисел отсутствует. [5]
Хранение стеклооболочек в воздушной среде с повышенной влажностью увеличивает газовыделение при обезгаживании прибора более чем в 2 раза. [6]
Газы и пары, десорбирующиеся с нагреваемых деталей прибора, могут снова сорбироваться на холодных деталях. Это затрудняет процесс обезгаживания прибора. [7]
Авторы работы 19 ] описывают использование адсорбционного насоса вместе с магниторазрядным Для откачки и обезгаживания электровакуумных приборов с крупными оксидными катодами. Параллельное подключение адсорбционного насоса позволило снизить давление до 10 - 4 мм рт. ст. Высокая избирательная способность адсорбционного насоса по окислительным компо-нентам газовой среды ( FbO, CO2) позволяет уменьшить вероятность протекания окислительных процессов. На заключительных стадиях обезгаживания прибора, когда выделение газа резко уменьшалось, адсорбционный насос отключали, так как его предельное давление было выше, чем в магниторазрядном насосе. [8]
Спираль обкладывалась слюдой и поверх нее надевался медный и затем молибденовый цилиндры. В других вариантах печи был исключен стеатит, затрудняющий обезгаживание прибора. [9]
Применяемый при откачке многих приборов сорбци-онный насос ( рис. 10 - 6 6) представляет собой титановый цилиндр с подогревателем, смонтированный на ножке и заваренный в стеклянный баллон. В таком виде он напаивается на стеклянную гребенку откачного поста вместе с откачиваемыми приборами и прогревается одновременно с ними под электрической печью ( 450 С, 2 - 3 ч) для обезгаживания стекла. Затем при подаче напряжения к выводам ( 6 5 в) осуществляется процесс обезгаживания и распыления титана ( в течение около 2 ч), который в виде зеркального налета осаждается на стенки баллона. В результате давление в гребенке снижается до 10 - 7 мм рт. ст., после чего начинается обычный процесс обезгаживания приборов при одновременной работе вращательного, пароструйного и титанового насосов. [10]
Элсворт [121] показал, что большая часть азота, адсорбированного при 77 К на титановой пленке, может снова выделиться при последующем нагреве до 20 С. Но несмотря на эту обратимость, сублимация титана на охлажденные жидким азотом поверхности используется часто из-за большого коэффициента прилипания падающих на них молекул газа при пониженных температурах и получающихся вследствие этого, как показано Клаусин-гом [122], более высоких скоростей сорбции. Этот же автор обнаружил, что пленки титана, напыленные в присутствии геллия при давлении 10 - 3 мм рт. ст., оказываются более эффективными в сорбции водорода по сравнению с пленками, полученными в высоком вакууме. Это явление приписывается большей пористости и большей шероховатости поверхности пленки, осажденной в присутствии гелия. Непрерывное откачивающее действие пленки геттера, имеющего комнатную или более высокую температуру, зависит от дополнительного осаждения титана для восстановления чистой поверхности. Поскольку адсорбция некоторых газов, особенно водорода, обратима, последующее увеличение температуры может вызвать термическое освобождение ранее захваченных газов. Поэтому в процессе вакуумного цикла широко практикуется преднамеренное обег-гаживание титановых геттерных насосов. Дэнисон [123] для удаления обратимо сорбируемых газов рекомендует прогрев при 300 С, поскольку прочно хемисорбированные газы, такие как азот, диффундируют при этом внутрь слоя и образуют с титаном соединения. Поэтому рекомендуется эпизодически проводить очистку внутренних стенок геттерных насосов. В нем свежая металлическая поверхность получается в результате вращения проволочной щетки внутри титанового цилиндра. Устройство снижает давление газов от 5 10 - 3 до 5 10 - 5 мм рт. ст. в течение приблизительно 30 с, и в этом интервале давлений достигает быстроты откачки от 1 до 10 л-с-1. Преимущество этого принципа действия заключается в отсутствии необходимости термического обезгаживания прибора. [11]
Страницы: 1