Область - рабочее давление
Cтраница 2
В тех, случаях, когда одна из полостей гидродвигателя ( или-насоса) постоянно соединена с областью рабочего давления, всасывания или с выкидом, двигатель ( или насос) называется дифференциальным. В таких схемах упрощается золотниковое устройство, уменьшается число клапанов и каналов для жидкости, но мощность и подача установки снижаются по сравнению с агрегатами двойного действия, в которых обе полости рабочие. [16]
Использование криосорбционных ловушек для получения сверхвысокого вакуума по сравнению с применением их для форвакуумной откачки изучено гораздо меньше. Для расширения области рабочих давлений криосорбционных ловушек, для снижения общей газовой нагрузки и в особенности исходного давления более легких газов требуется предварительная откачка насосом какого-либо другого типа. Этот вопрос исследовался Ридом [101], который для предварительной откачки небольшой прогреваемой вакуумной системы до 10 - 9 мм рт. ст. использовал паромасляный диффузионный насос. Последующая сорбция на охлаждаемую жидким азотом ловушку из нержавеющей стали с заполнением цеолитом 13 X привела в результате к снижению давления до 5 10 11 мм рт. ст. Однако из его работы оставалось неясным, в какой мере это снижение было связано с присутствием цеолита. Инклей и Колеман [91] изучали криосорбционную откачку на небольшой системе из пирексового стекла, предварительно откачанной ртутным диффузионным насосом до 10 - 8 м рт. ст. Их ловушка представляла собой контейнер из нержавеющей стали с кассетами из монеля для различных адсорбентов. Активация ловушек охлаждением жидким азотом снижала давление до 5 10 - 10 мм рт. ст. Однако этот эффект не зависел от типа используемого адсорбента или даже от его наличия. Отсюда следует, что откачка неконденсируемых газов существенно улучшается за счет адсорбции на металлических поверхностях ловушки. Из экспериментов Инклея и Колемана становится очевидной и предельная адсорбционная емкость цеолитов в сверхвысоком вакууме. Эта конструкция является комбинацией охлаждаемых жидким азотом и жидким гелием шевронных отражателей, причем первая экранирует вторую, имеющую охлаждаемую гелием панель с цеолитом. [17]
 |
Схема гелиевого течеискателя. [18] |
Пары пробного вещества, попадая через течь в систему, меняют степень ионизации в лампе и таким образом индицируют дефектный участок поверхности стенки. Нижний предел измерений ограничен областью рабочих давлений ионизационного манометра. [19]
 |
Схема ионизационной манометрической дампы Пеннинга.| Магнетронвый ионизационный манометрический датчик Рэдхеда. [20] |
При попадании на анод электрон может вызвать высвечивание рентгеновского кванта, но вероятность такого события пропорциональна плотности частиц и, следовательно, мала. Таким образом, во всей области рабочих давлений величина вторично-эмиссионного тока остается малой по сравнению с током ионов, а рентгеновский порог манометра вряд ли может быть предсказан. Еще одно потенциальное ограничение рабочего диапазона для магне-тронного манометра Рэдхеда удается преодолеть с помощью дополнительных катодов, экранирующих диски основных катодов от воздействия сильных электрических полей на их периферии. В результате автоэмиссионный ток не дает вклада в ток коллектора ионов, а просто уходит на заземленные вспомогательные катоды. [21]
 |
Кривые быстроты откачки воздуха и аргона ионно-распылительными насосами. [22] |
Серийные ионно-распылительные насосы хотя конструктивно и отличаются друг от друга, но тем не менее имеют почти одинаковые рабочие характеристики. Вследствие зависимости быстроты откачки от рода газа, области рабочих давлений и предыстории насоса, провести объективное сравнение насосов оказалось трудно. Кривая откачки для воздуха, представленная на рис. 33, является типичной, поскольку на ней видны участки перехода от промежуточных к низким давлениям с максимумом около 10 - 6 мм рт. ст. Постепенное снижение быстроты откачки при переходе в область очень низких дав лений может быть скомпенсировано включением в работу одновременно титанового сублимационного насоса. Инертные газы, такие как аргон, откачиваются менее эффективно, чем химически сорбируемые компоненты. Быстрота откачки серийных насосов оценивается для воздуха по максимуму при 10-в мм рт. ст. Этот параметр стандартных насосов варьируется от 1 до 1200 л-с-1, но есть сообщения как о менее, так и о более производительных моделях. Быстрота откачки всех прочих, кроме воздуха, газов выражается в процентах по отношению к этому параметру для воздуха. В табл. 6 представлены данные, наиболее часто встречающиеся в литературе. [23]
Робинсон [11] предлагал для уменьшения количества распыляемого металла, а следовательно, и уменьшения адсорбции применять катоды полузакрытого типа с небольшим отверстием для пучка света. Однако, как показали наши эксперименты с алюминиевыми катодами, лампы подобной конструкции весьма чувствительны к изменению давления постороннего газа, область рабочего давления уже и поэтому срок службы их значительно меньше. [24]
При измерениях давления часто приходится решать вопрос о выборе манометра для тех или иных конкретных целей. В первую очередь существенное значение имеет диапазон измеряемых давлений. Сплошными линиями указаны области применения промышленных приборов, а пунктирными - диапазоны измерений, достигнутые в специальных конструкциях. Области рабочих давлений различных типов вакуумметров указаны ниже при рассмотрении отдельных классов приборов. [25]
Область рабочих давлений ионизационного манометра может быть расширена и на область повышенных давлений при условии, если длина свободного пробега электронов будет уменьшена настолько, что снизится в частота ионизирующих столкновений. Его характерной особенностью является то, что эмит-тирующая электроны нить расположена в узком зазоре между двумя параллельными платами из молибдена. Напряжения смещения на них поданы так, что одна из плат коллектирует положительные ионы, а электроны с катода, не совершая колебаний, попадают на вторую. Он основан на том же самом принципе, но свободный пробег электронов за счет близкого расположения проволочных электродов у него сокращен. При работе в режиме малого эмиссионного тока ( около 0 1 мА или меньше) постоянная манометра равна 0 5 мм рт. ст 1, а область рабочих давлений расположена в пределах 10 - 5 - 1 мм рт. ст. Ториро-ванный иридиевый проволочный катод позволяет нормально работать при давлениях воздуха свыше 1 мм рт. ст. Манометр пригоден также для измерений непосредственно в области тлеющего разряда, что делает его удобным для использования в системах для ионного распыления. [26]
Страницы: 1 2