Cтраница 1
Бисазиды можно сенсибилизировать; хорошими сенсибилизаторами являются кетон Михлера и 4 4 -тетраэтилдиаминобензофенон. Помимо указанных, в качестве фоторезистов были рекомендованы и находят применение многие другие соединения, а также фотополимерные композиции. В состав этих композиций обычно входят полимер, мономер, инициатор, ингибитор и стабилизатор. Полимер ( например, полиамид) образует пленку, в которой распределены все остальные компоненты композиции. [1]
При изготовлении печатных плат находят применение также фоторезисты, получаемые из циклокаучука и бисазида. [2]
В этом случае, как правило, используется большая концентрация азида, в 3 - 4 раза превышающая используемую концентрацию бисазидов. Вероятно, столь высокая концентрация ( до 20 %) азидопирена объясняет и возникновение азо-соединений в слое, хотя довольно трудно представить, как диффузионно контролируемая рекомбинация нитренов в жесткой матрице может конкурировать с отрывом водорода. [3]
В настоящее время предлагаются композиции, в которых в качестве сшивающих агентов используются аналогичные соединения, содержащие вместо азидобензилиденовых фрагментов азидоцинна-малиденовые группировки. Бисазиды с развитой цепью сопряжения ( 15, 16) рекомендуются для использования в проекционной фотолитографии. [4]