Электронная ионная оптика
Cтраница 1
Электронная и ионная оптика базируется на аналогии между световой геометрической оптикой и движением заряженных частиц в электромагнитных полях. Впечатляющее развитие электронной микроскопии со всей ясностью демонстрирует возможность формирования изображения заряженными частицами, длина волны которых гораздо меньше, чем у видимого света. [1]
Электронная и ионная оптика представляет собой одно из направлений физической электроники и занимается проблемами формирования потоков заряженных частиц, управления ими, а также вопросами их применения. В самом названии отражен тот факт, что движение заряженных частиц в электромагнитных полях во многом подобно поведению световых лучей в неоднородных оптических средах. [2]
 |
Трехэлектродная электростатическая линза, реконструированная из распределения осевого потенциала, изображенного иа 154. [3] |
Электронная и ионная оптика являются областью, где эти новые подходы могут привести к значительным успехам. [4]
В электронной и ионной оптике обычно имеют дело с траекториями вблизи какой-либо оси. [5]
Бурное развитие электронной и ионной оптики начиная с 20 - х годов нашего столетия во многом объясняется потребностями новых направлений науки и техники, таких, как ядерная физика, физика высоких энергий, СВЧ-радиоэлектроника, элементный и структурный анализ материалов. В результате были созданы принципиально новые приборы, позволившие получить уникальные сведения об окружающем нас мире как фундаментального, так и прикладного характера. В настоящее время электронная и ионная оптика не утратила своей актуальности и продолжает развиваться. Большое стимулирующее влияние при этом оказывают новые ее приложения в микроэлектронике, диагностике материалов, обработке поверхностей. Достаточно сказать, что решение одной из важнейших задач современной микроэлектронной технологии - освоение субмикронного диапазона - трудно представить без диагностического и технологического оборудования на основе электронных и ионных зондов. [6]
ДИАФРАГМА в электронной и ионной оптике - применяется для ограничения поперечного сечения и изменения угла раствора ( апертуры) пучка заряж. В зависимости от знака / Д - играет роль собирающей или рассеивающей линзы. [7]
В отличие от электронной и ионной оптики, рассматривающей фокусировку пучков заряж. В наст, время ( 90 - е гг.) плазмооптика находится в стадии формирования, но проблема динамики проходящих через плазменные конфигурации пучков заряж. [8]
Аберрации играют в электронной и ионной оптике чрезвычайно важную роль. На практике они ограничивают возможности пучковых приборов. Поэтому данная глава посвящена введению в теорию аберраций. Влияние пространственного заряда будет рассмотрено отдельно ( гл. [9]
Быстрый прогресс в области электронной и ионной оптики, связанный прежде всего с развитием плодотворных компьютерных методов расчета, расширением технических возможностей, а также потребности в подготовке квалифицированных специалистов диктуют необходимость издания новых учебных пособий. Силадьи является хорошим примером современного введения в предмет. Она начинается с уравнений Максвелла, вариационных принципов классической механики, вывода уравнений движения заряженных частиц, далее подробно рассматриваются различные вопросы функционирования фокусирующих, отклоняющих, формирующих электронных и ионных оптических устройств. Особое внимание уделено методам расчета электрических и магнитных полей, теории аберраций, компьютерным методам расчета и оптимизации параметров линз. Следует отметить, что вопросы применения анализируемых устройств автором не рассматриваются. [10]
Наиболее часто используемыми элементами электронной и ионной оптики являются линзы, служащие для фокусировки пучков заряженных частиц. Они эквивалентны обычным аксиально-симметричным оптическим линзам, основные свойства которых были рассмотрены в разд. Существование электронно-оптического коэффициента преломления ( разд. В данной главе будет проведено детальное исследование их фокусирующих свойств. [11]
Возможно ли устранение аберраций в электронной и ионной оптике. [12]
По различным вопросам теории и применения электронной и ионной оптики опубликовано множество книг. Эта книга задумана как замкнутое систематическое и исчерпывающее на настоящий момент введение в рассматриваемую область. Читатель сможет найти здесь вывод наиболее важных соотношений, понимание которых абсолютно необходимо при намерении сколь-нибудь серьезно работать с пучками заряженных частиц и соответствующей техникой, но которые в большинстве книг обычно приводятся без доказательств. [13]
Следует признать, что общая теория электронной и ионной оптики оказывает ограниченную помощь разработчикам пушек. Причина состоит в неоднозначности ситуации, когда объект является частью самой фокусирующей системы, а совместное влияние распределения начальных скоростей и пространственного заряда делает фактически невозможным использование большинства технических приемов, разработанных для обычных фокусирующих элементов. Простая теория трехэлектрод-ных электронных пушек была предложена уже давно [270] и с тех пор ей было посвящено еще несколько работ, но и по сей день не существует всесторонней теории или даже хорошо разработанной методологии конструирования электронных и ионных источников. [14]
Подавляющее большинство фокусирующих элементов, используемых в электронной и ионной оптике, создают аксиально-симметричные электростатические и ( или) магнитные поля, которые могут быть описаны скалярными потенциалами. Нам уже известно их представление в виде рядов ( разд. [15]
Страницы: 1 2 3 4