Форвакуумная откачка

Cтраница 1

Форвакуумная откачка и водяное охлаждение прекращаются после охлаждения кипятильника, которое можно ускорить, сняв нагреватель и обдувая кипятильник воздухом. В некоторых насосах в днище кипятильника имеются каналы водяного охлаждения, что значительно сокращает время охлаждения насоса. [1]

В широком диапазоне давлений форвакуумной откачки ( Ю-1 - 10 Па) режим течения газа через поры свободномолекулярный и поэтому их проводимость практически не зависит от давления. Пористые экраны, охлаждаемые жидким азотом, являются весьма компактным и технологически удобным средством тепловой защиты, однако их удельная проводимость ограничена. Это связано с тем, что входные отверстия пор занимают малую долю площади пластины и, кроме того, эта доля может резко сократиться при откачке-газов, содержащих легкоконденсируемые примеси, например пары воды или углекислый газ. Эти примеси, конденсируясь на поверхности экрана, могут закупорить входные отверстия пор и тем самым снизить проводимость экрана по откачиваемому газу. [2]

Типичные кривые для скорости откачки паромасляного бустерного насоса. стеклянно-металлический диффузионный насос типа GM-220.| Типичные кривые перелома вакуума паромасляных бустерных насосов. стеклянно-металлический диффузионный насос типа GM-220. [3]

Высокий вакуум 10 - мм рт. ст. Форвакуумная откачка со скоростью 0 5 л / сек. [4]

Диффузионный насос принципиально не может работать без форвакуумной откачки. [5]

Вакуумная система. [6]

Духа; 4 - дросселирующий затвор; 5 - трубопровод форвакуумной откачки; 6-чатвор байпасной линии откачки; 7 - байпасная линия откачки; - манометр Пирани; 9-затвор форвакуум - Ной линии откачки; 10 - диффузионный насос; / / - затвор с ловушкой; 12 - вакуумная камера; 13 - электрический токопровод; 14 - стержневое уплотнение ввода движения; 15 - датчик магниторазрядного манометра; 16 - смотровое окно. [7]

Насос с использованием эффекта криозахвата. [8]

В [2-31, 2-32] приведены результаты исследований криоконденсационной откачки воздуха с атмосферного давления без форвакуумной откачки другими насосами. [9]

Одним из видов загрязнения воздуха являются пары масла, выделяемые из насосов форвакуумной откачки вакуумных установок. Для борьбы с парами масла применяют централизованную форвакуумную откачку, при которой воздух из вакуумных установок откачивается через вакуумные магистрали с помощью насосов, установленных в техническом этаже здания, а не непосредственно в цехе. [10]

Использование криосорбционных ловушек для получения сверхвысокого вакуума по сравнению с применением их для форвакуумной откачки изучено гораздо меньше. Для расширения области рабочих давлений криосорбционных ловушек, для снижения общей газовой нагрузки и в особенности исходного давления более легких газов требуется предварительная откачка насосом какого-либо другого типа. Этот вопрос исследовался Ридом [101], который для предварительной откачки небольшой прогреваемой вакуумной системы до 10 - 9 мм рт. ст. использовал паромасляный диффузионный насос. Последующая сорбция на охлаждаемую жидким азотом ловушку из нержавеющей стали с заполнением цеолитом 13 X привела в результате к снижению давления до 5 10 11 мм рт. ст. Однако из его работы оставалось неясным, в какой мере это снижение было связано с присутствием цеолита. Инклей и Колеман [91] изучали криосорбционную откачку на небольшой системе из пирексового стекла, предварительно откачанной ртутным диффузионным насосом до 10 - 8 м рт. ст. Их ловушка представляла собой контейнер из нержавеющей стали с кассетами из монеля для различных адсорбентов. Активация ловушек охлаждением жидким азотом снижала давление до 5 10 - 10 мм рт. ст. Однако этот эффект не зависел от типа используемого адсорбента или даже от его наличия. Отсюда следует, что откачка неконденсируемых газов существенно улучшается за счет адсорбции на металлических поверхностях ловушки. Из экспериментов Инклея и Колемана становится очевидной и предельная адсорбционная емкость цеолитов в сверхвысоком вакууме. Эта конструкция является комбинацией охлаждаемых жидким азотом и жидким гелием шевронных отражателей, причем первая экранирует вторую, имеющую охлаждаемую гелием панель с цеолитом. [11]

Работа нагревателя при повышенном давлении в насосе ( например, если забыли включить форвакуумную откачку или при аварии в форвакуумной системе некоторое время не был отключен нагреватель) ведет к перегреву рабочей жидкости. В таких случаях следует до начала форвакуумной откачки дать рабочей жидкости несколько остыть, отключив нагреватель, в противном случае бурное вскипание перегретой рабочей жидкости приводит к сильным выбросам ее из насоса. Некоторый унос рабочей жидкости в форвакуумную коммуникацию происходит при прохождении через разогретый насос больших потоков газа. [12]

Для откачки печи предусмотрены два бустерных насоса БН-4500 и два механических насоса ВН-6Г, одним из которых производят форвакуумную откачку нагревательной камеры и загрузочного и разгрузочного шлюзов. [13]

Водокольцевые насосы применяют для откачки черновых трубопроводов централизованных форвакуумных систем, в сушильных установках, а также в качестве безмасляных насосов для форвакуумной откачки. [14]

Откачка нагревательной камеры производится либо бустерным насосом БН-3, если требуется давление порядка 10 - 3 мм рт. ст., либо высоковакуумным насосом Н-5, если давление в печи должно быть равно Ю 4 мм рт. ст. Форвакуумная откачка производится насосом ВН-1МГ. [15]

Страницы: 1 2