Предварительная откачка
Cтраница 4
 |
Откачная система, рабо -.. rpffl O [ - M ] f. [46] |
Затем через вентиль 7 производят предварительную откачку самого прибора. [47]
Значительное снижение предельного давления при предварительной откачке достигается предварительным уменьшением давления в откачиваемом объеме от атмосферного до нескольких или десятков мм рт. ст. с помощью водоструйных или газоэжекторных насосов. В такой же пропорции уменьшается абсолютное давление неадсорбирующихся газов в объеме и количество откачиваемого газа на единицу массы адсорбента в насосе. [48]
Систему трижды промывают водородом с предварительной откачкой и чашечку с катализатором опускают в раствор. Когда катализатор растворится, начинают пропускать водород. Гидрирование проводят при комнатной температуре и начальном давлении водорода около 85 см в течение около 90 час. Образующуюся суспензию пропускают через колонку с окисью алюминия размером 2х 12 см и продукт элюируют 10 мл петролей-його эфира. [49]
Систему трижды промывают водородом с предварительной откачкой и чашечку с катализатором опускают в раствор. Когда катализатор растворится, начинают пропускать водород. Гидрирование проводят при комнатной температуре и начальном давлении водорода около 85 см в течение около 90 час. Образующуюся суспензию пропускают через колонку с окисью алюминия размером 2х 12 см и продукт элюируют 10 мл петролей-иого эфира. [50]
Чистота С02 может быть повышена предварительной откачкой вакуумным насосом сосуда, содержащего сухой лед, а также более тщательной очисткой и откачкой мрамора, применяемого в аппарате Киппа. [51]
При использовании геттерных насосов желательно обеспечивать безмасляную предварительную откачку сосуда до давления менее 10 1 Па с помощью адсорбционных насосов или паромасляных диффузионных насосов с эффективными ловушками. Не следует допускать чрезмерно длительной откачки сосуда механическим насосом с масляным уплотнением из-за возможного загрязнения сосуда углеводородами. [52]
 |
Схема клапанной коробки. [53] |
После загрузки изделий и опускания колпака производится предварительная откачка подколпачного объема. При этом клапан 8 ставится в положение закрыто, а клапан 9 открывается. В этот период диффузионный насос работает на форвакуумный бачок, По достижении предварительного разрежения в рабочем объеме закрывается клапан 9, а клапаны 8 и 5 ставятся в положение открыто. При таком положении клапанов происходит откачка установки до высокого вакуума и проведение процесса напыления. Затем цикл работы повторяется. [54]
 |
Ртутный диффузионный насос. [55] |
Такой насос может работать только при условии предварительной откачки воздуха другим насосом. Предварительная откачка воздуха обычно делается вращающимся насосом. Он состоит из сосуда А с рабочей жидкостью, непрерывно подогреваемого горелкой или электрической печкой. Образующиеся при этом пары поступают через трубку L в полость В, охлаждаемую проточной водой. Здесь молекулы газа захватываются струей пара и увлекаются ею. Пар конденсируется на стенках и стекает обратно в сосуд А. Газ же засасывается сквозь трубку D на-сосом, дающим предварительное разрежение. Диффузионный насос может работать, только если предварительно достигнуто такое разрежение, что длина свободного пробега молекул пара стала больше диаметра трубки В. Диффузионный насос является одним из наиболее совершенных насосов. [56]
 |
Плавильная камера индукционной печи с холодным тиглем для получения слитков. [57] |
Для вакуумных процессов, а также для предварительной откачки печи при заполнении контролируемой атмосферой печь снабжается вакуумной системой, состоящей из вакуумпроводов, затворов и вакуумных насосов. [58]
Двухпроводная система не допускает подключения к трубопроводу предварительной откачки новых установок во время работы. Такая система состоит из трех трубопроводов, два из которых, ТПО-1 и ТПО-2, предназначены для предварительной откачки установок от атмосферного давления до давления 5 - 10 - 2 тор, а третий, ТРО, - для создания предварительного разрежения на выходе пароструйных насосов. [59]
Агрегаты ЦВА-01-2 и ДВА-1-2 имеют водоструйный насос для предварительной откачки до 15 тор, их предельный вакуум 10 - 4 тор, а у агрегатов ЦВА-01-1 и ЦВА-1-1 без водоструйных насосов предельный вакуум составляет 10 - 2 тор. В спектре остаточных газов содержатся значительные количества неона ( 50 - 62 %), гелия ( 14 - 31 %) и водорода. Лучше откачиваются агрегатами ЦВА азот и кислород, пары воды, окись углерода. [60]
Страницы: 1 2 3 4 5