Cтраница 2
В работе [247] для демонстрации влияния фактора неоднородности на расчет примесных профилей были проведены моделирующие опыты. Для этого на термически окисленную поверхность кремния, прошедшего дополнительную термообработку при 1100 С в азоте в течение 10 мин с целью уменьшения плотности ПЭС и гомогенизации характеристик границы раздела, наносились два идентичных металлических электрода. ВЧ и НЧ С ( - характеристики измерялись либо на каждом из электродов в отдельности, либо на этих электродах, соединенных параллельно. В последнем случае между электродами дополнительно прикладывалось небольшое регулируемое смещение AF, которое поддерживалось постоянным в процессе измерений и моделировало неоднородность встроенного заряда. Из сопоставления экспериментальных и теоретических зависимостей Nd ( W) ( рис. 7.4) видно, что они качественно согласуются. Это свидетельствует о справедливости принятой теоретической модели. Наблюдаемые структурные особенности на экспериментальной Nd ( W) кривой при А К 0 ( см. рис. 7.4) обусловлены Отличием напряжений плоских зон двух исследованных МДП структур. [16]
![]() |
Функциональные схемы СЧПУ с фазовой записью программы. [17] |
Существуют три типа этих СЧПУ: фазовые, частотные и импульсные. Функциональная схема СЧПУ с фазовой записью программы показана на рис. 169, а. На дорожках магнитной ленты нанесены опорный и рабочие сигналы. Они считываются магнитными головками МГ. Сигнал, управляющий координатой X, подается от головки МГХ на усилитель Ух и в фазовый дискриминатор ФДХ. Одновременно магнитной головкой МГ считывается опорный сигнал, который через усилитель У0 с опорного сигнала подается на входные обмотки вращающегося трансформатора ВТХ, являющегося преобразователем обратной связи. Выходной сигнал ВТХ подается на второй вход фазового дискриминатора ФДХ. Сигнал на выходе ФДХ содержит постоянную составляющую, величина которой пропорциональна рассогласованию фаз рабочего сигнала и сигнала обратной связи. Напряжение выхода ФД усиливается усилителем УМХ мощности и подается на двигатель Дх, который перемещает рабочий орган так, чтобы рассогласование исчезло. Отличие напряжения рассогласования от нуля определяет статическую ошибку СЧПУ. [18]