Загрязнение - водород
Cтраница 4
 |
Технологическая схема получения поликристаллического кремния с рециркуляцией хлорсиланов. 1 5 - колонна ректификации. 2 - испаритель. 3 - реактор осаждения. 4 - блок конденсации. [46] |
В более поздних технических решениях [ 3J предусматривается практически полное использование всех побочных продуктов. Например, после отделения конденсацией хлорсиланов из абгазов, после реакторов восстановления газовую смесь сжимают до 1 37 МПа при 255 К и отделяют остаточные хлорсиланы. Водород, содержащий следы хлорсиланов, и хлористый водород пропускают через орошаемую раствором щелочи колонну. При этом хлористый водород и остатки хлорсиланов отделяются. Далее выходящий водород осушают, очищают от кислорода и вновь используют в процессе восстановления. Однако выделение хлористого водорода абсорбцией щелочным раствором сопряжено со значительной вероятностью загрязнения водорода примесями щелочных металлов и другими нежелательными компонентами. [47]
Страницы: 1 2 3 4