Cтраница 2
В этом баке происходит перемешивание воды с добавлением порошкообразных реагентов. По мере течения реакции происходит процесс преобразования эмульсионных загрязнений и выпадение их в виде илистого осадка. Затем полученная смесь проходит через сменный целлюлозный фильтр, где происходит отделение очищенной воды от илистого осадка, после чего она поступает в агрегат физической очистки, где происходит окончательная очистка воды. Сменный целлюлозный фильтр подлежит дальнейшей утилизации. [16]
Процесс очистки подложки требует, чтобы были разорваны связи как между молекулами самой примеси, так и между молекулами этой примеси и подложки. Это может быть достигнуто как химическими средствами, например, очисткой в растворителе, так и приложением достаточной энергии для испарения примеси, например, нагревом или ионной бомбардировкой. Как правило, желательно ограничить процесс очистки удалением только слоя загрязнения, однако часто оказывается приемлемым также и слабое подтравливание материала самой подложки, что обеспечивает лучшее качество процесса очистки. Некоторые методы очистки требуют обработки подложки или использования растворителей и поэтому должны применяться вне вакуумной системы. Осуществление методов физической очистки обычно сопровождается установкой оборудования для нагрева подложки или бомбардировки ионами в напылительной системе. [17]