Cтраница 5
На рис. 10 - 23 и 10 - 24 показаны кривые зависимости удельного сопротивления и ТКС от толщины полученных пленок карбида молибдена. Перелом кривой, как это видно на рис. 10 - 23, наступает при толщинах 400 - 600 А, а начиная с толщины 1500 А и выше удельное сопротивление пленок остается постоянным. ТКС при толщинах 500 А отрицателен. Величина удельного сопротивления карбида молибдена приблизительно на порядок превышает величину удельного сопротивления большинства чистых металлов, следовательно можно получить высокое сопротивление на сравнительно толстых пленках, что, в свою очередь, обеспечит их стабильность. [62]
Многочисленные примеры таких кривых были нами даны в первой статье. Перелом кривой отвечает внезапному изменению состава системы: практически исчерпан один из активных компонентов. [63]