Cтраница 2
Раствор равномерным слоем распределяют по поверхности заготовки ( например, центрифугированием) и высушивают. После контактного печатания и проявления в теплой воде эмульсионный слой подвергают химическому дублению, сушке и термообработке для придания ему химической стойкости. Травление осуществляют в растворе хлорного железа плотностью 1 38 1 40 г / см для меди-и 1 30 - 1 32 г / см. для латуни. [16]
Рабочие пластины в процессе работы подвергаются значительному износу и повреждениям, потому что они находятся в тесном контакте с подложками. В процессе контактного печатания они прижимаются со стороны, противоположной той, на которой находится слой фоторезиста, что зачастую приводит к тому, что частицы фоторезиста попадают в эмульсионный слой маски. Это намного ухудшает качество масок, потому что частицы фоторезиста удалить чрезвычайно трудно. Другими причинами являются царапины в эмульсионном слое, нанесенные твердыми частицами. В результате эти дефекты прокалывают слой фоторезиста. Таким образом, продолжительность службы фотошаблонов ограничивается 20 - 50 операциями контактного печатания, в зависимости от типа подложек и мер предосторожности при обращении с фотошаблонами. Имеются сообщения об отдельных методах увеличения срока службы эмульсионных фотошаблонов. Это предотвращает воздействие на него дефектных точек и бугорков, находящихся на подложке. [17]
Более точный, но и более трудоемкий способ изготовления эскизов спектров состоит в использовании вместо атласов фотокопий спектров. Для этого копию изготавливают путем контактного печатания с комбинированного спектра, состоящего из спектра образца для сравнения и спектра железа ( вместе со шкалой), на подходящую спектральную пластинку. [18]
Они обладают высокой светочувствительностью, вуалеустойчивостью и высокой скоростью проявления. Эти фотобумаги предназначены для проекционного и контактного печатания. Получаемое изображение сочное и имеет тепло-черный тон. Время проявления в стандартном проявителе № 1 составляет 1 5 мин. [19]
Как указывалось выше, непременным условием при обмене копиями микрофильмов является передача без существенных потерь содержащейся в них геофизической информации. Этому условию удовлетворяют копировальные аппараты контактного печатания с непрерывным передвижением пленок. Стандартные аппараты такого типа, рассчитанные на массовое производство кинофильмов, работают на больших скоростях протяжки пленок. Они громоздки и требуют отдельного специально приспособленного помещения. Крупные заказы на выкопиров-ку целых рулонов микрофильмов выполняются фотолабораторией МЦД-В2 именно на таких машинах. Однако в большинстве случаев возникает необходимость переформирования массива микрофильмированной информации с выборкой отдельных кадров, приуроченных, например, к какому-либо одному геофизическому явлению. [20]
Следовательно, в этом случае можно ожидать получения более надежных, более толстых защитных слоев, без ухудшения разрешающей способности. По заявлениям изготовителей, получение линий шириной 0 5 мкм в покрытиях фоторезиста AZ-1350 толщиной до 1 8 мкм, подтверждает это положение, однако следует отметить, что травление линий шириной 1 мкм и менее обычно требует применения методов, отличных от методов, применяющихся при контактном печатании через фотошаблоны, изготовленные на липпмановских эмульсионных пластинах ( см. разд. Когда еще не было опубликовано экспериментальных сведений о рельефах, изготавливаемых в слоях фоторезиста AZ-1350 с помощью эмульсионных фотошаблонов методом контактного печатания, Джонсон [124] установил возможность получения линий шириной 2 5 мкм. [21]
Прежде чем приступить к работе, студент должен ознакомиться с оборудованием темной комнаты и процессом фотографирования, который придется выполнять. Необходимо располагать двумя ваннами 15x20 см, а также большим сосудом с водой ( двухлитровый стакан), если недоступна проточная вода. Требуется также прибор для контактного печатания или рамка для фотопечати и, кроме того, создание подходящего, не действующего на фотопластинку, освещения. [22]
Прежде чем приступить к работе, студент должен ознакомиться с оборудованием темной комнаты и процессом фотографирования, который придется выполнять. Необходимо располагать двумя ваннами 15x20 см, а также большим сосудом с водой ( двухлитровый стакан), если недоступна проточная вода. Требуется также прибор для контактного печатания или рамка для фотопечати и, кроме того, создание подходящего, не действующего на фотопластинку, освещения. [23]
Она обладает высокой светочувствительностью и высокой стойкостью относительно образования вуали, допускающей время проявления до 10 мин. В условиях обычной обработки фотобумаги ( 1 - 2 5 мин) практически совершенно исключается появление вуали. Эта бумага применяется для проекционного и контактного печатания. Изображение получается сочным нейтрально-черного тона. Фотобумага от мягкой до нормальной контрастности несенсибилизирована, и ее можно обрабатывать при ярко-оранжевом свете. Контрастные и особоконтрастные бумаги обрабатывают при темно-оранжевом и красном свете. Сорта этой бумаги с матовой и полуматовой поверхностью несколько уступают глянцевым по насыщенности получаемого изображения, и поэтому требуется более точное экспонирование при печати. [24]
Негативные бумаги отличаются от обычных ( позитивных) бумаг своей большой светочувствительностью и характе-юм подложки, к-рая представляет тонкую фозрачную бумагу. Имеются также сорта негативных бумаг и на непрозрачной подложке. В этом случае позитивное изображение получается не контактным печатанием, а пересъемкой с бумажного негатива. [25]
Возникают и другие затруднения из-за того, что для создания рисунков схем обычно требуется проводить не одну, а несколько операций травления и, следовательно, необходимо применять комплект шаблонов. При создании нескольких рисунков на одной подложке особенно важно, чтобы рисунки, получаемые травлением пленок, точно соответствовали фиксированному положению друг относительно друга. Это может быть достигнуто только в том случае, если при изготовлении фотошаблонов и контактном печатании весь комплект фотошаблонов был изготовлен с одним и тем жа коэффициентом уменьшения и высоким совершенством совмещения последующих рисунков друг относительно друга на всех операциях. Процесс выравнивания положения рисунков относительно друг друга и мера точности, с которой выполняется эта операция, называется совмещением. Специальные знаки для совмещения в виде точек или штрихов обычно размещаются в нескольких участках матрицы рисунков для того, чтобы облегчить точное регулирование положения фотошаблона и рисунка относительно друг друга по всей площади подложки при переходе от одного слоя к следующему. [26]
Следовательно, в этом случае можно ожидать получения более надежных, более толстых защитных слоев, без ухудшения разрешающей способности. По заявлениям изготовителей, получение линий шириной 0 5 мкм в покрытиях фоторезиста AZ-1350 толщиной до 1 8 мкм, подтверждает это положение, однако следует отметить, что травление линий шириной 1 мкм и менее обычно требует применения методов, отличных от методов, применяющихся при контактном печатании через фотошаблоны, изготовленные на липпмановских эмульсионных пластинах ( см. разд. Когда еще не было опубликовано экспериментальных сведений о рельефах, изготавливаемых в слоях фоторезиста AZ-1350 с помощью эмульсионных фотошаблонов методом контактного печатания, Джонсон [124] установил возможность получения линий шириной 2 5 мкм. [27]
Рабочие пластины в процессе работы подвергаются значительному износу и повреждениям, потому что они находятся в тесном контакте с подложками. В процессе контактного печатания они прижимаются со стороны, противоположной той, на которой находится слой фоторезиста, что зачастую приводит к тому, что частицы фоторезиста попадают в эмульсионный слой маски. Это намного ухудшает качество масок, потому что частицы фоторезиста удалить чрезвычайно трудно. Другими причинами являются царапины в эмульсионном слое, нанесенные твердыми частицами. В результате эти дефекты прокалывают слой фоторезиста. Таким образом, продолжительность службы фотошаблонов ограничивается 20 - 50 операциями контактного печатания, в зависимости от типа подложек и мер предосторожности при обращении с фотошаблонами. Имеются сообщения об отдельных методах увеличения срока службы эмульсионных фотошаблонов. Это предотвращает воздействие на него дефектных точек и бугорков, находящихся на подложке. [28]