Cтраница 5
Гетеропереходы германий - кремний весьма интересны практически, но их получение сопряжено с серьезными трудностями. Температура, при которой с поверхности кремния удаляется окисел, превосходит точку плавления германия. Если окисную пленку удалить перед осаждением при высокой температуре, то после охлаждения подложки до температуры ниже точки плавления германия даже следов кислорода, содержащегося в реакторе, достаточно для частичного образования окисной пленки. [61]
Легирование пленок при иодидном процессе не встречает трудностей и поддается простому регулированию. Поскольку рост обычно происходит при низкой температуре, диффузионная подвижность многих лримесей приблизительно в 108 раз ниже, чем при температуре плавления германия. Принципиально легко изменять концентрацию вводимых элементов за малые промежутки времени по сравнению с продолжительностью роста пленки. [62]